微型熱式質(zhì)量流量計是一種基于熱導(dǎo)原理設(shè)計的流量計，主要用于測量氣體或液體的質(zhì)量流量。其工作原理是通過加熱流體并監(jiān)測加熱元件與流體之間的熱交換情況，從而計算流體的流量。
微型熱式質(zhì)量流量計的具體工作原理如下：
加熱元件：流量計內(nèi)部裝有加熱元件，通常是一個溫度傳感器或加熱器。當(dāng)流體通過流量計時，加熱元件會將一定的熱量傳遞給流體。
熱交換：流體的流動會影響加熱元件周圍的溫度變化。流量較大的流體會帶走更多的熱量，導(dǎo)致傳感器的溫度變化較大；流量較小的流體則帶走較少的熱量，溫度變化較小。
傳感器測量：傳感器會監(jiān)測流體流過時的溫度差異，并將這些變化轉(zhuǎn)換為電信號。這些信號通過電路處理后，可以計算出流量。
質(zhì)量流量計算：與體積流量不同，熱式質(zhì)量流量計通過熱量損失與流體的質(zhì)量密切相關(guān)，因此能夠直接測量質(zhì)量流量，而不受流體密度變化的影響。
微型熱式質(zhì)量流量計通常用于小型設(shè)備或精密儀器中，適用于測量低流量、低壓力的氣體或液體流量。其優(yōu)點包括快速響應(yīng)、高精度、無需外部壓力或溫度補償、安裝簡單等。因此，廣泛應(yīng)用于氣體流量監(jiān)測、氣體分析儀、實驗室設(shè)備等領(lǐng)域。
