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SE-VE光譜橢偏儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時(shí)間2024-09-18
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量62
  • 人氣值1632
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深圳東儀精工設(shè)備有限公司www.dorin17.com成立于2010年,經(jīng)過(guò)四年多的努力和發(fā)展,成長(zhǎng)為行業(yè)的品質(zhì)檢控及實(shí)驗(yàn)室解決方案供應(yīng)商,專(zhuān)業(yè)代理國(guó)內(nèi)外*檢測(cè)儀器、試驗(yàn)設(shè)備及耗材。先后在深圳,浙江寧波設(shè)立分公司;業(yè)務(wù)以珠江三角洲及長(zhǎng)江三角洲為核心*大部分地區(qū)。在公司全體同仁富有激情,敢做敢當(dāng),勇于創(chuàng)新,突破局限,合理優(yōu)化資源的創(chuàng)業(yè)精神的帶領(lǐng)下,公司在發(fā)展的路上攀上一個(gè)又一個(gè)的高峰。
 
 

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SE-VE光譜橢偏儀 本設(shè)備基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。
SE-VE光譜橢偏儀 產(chǎn)品詳情

SE-VE光譜橢偏儀

  本設(shè)備基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜,可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。


1、 橢偏儀測(cè)頭規(guī)格:

1) 光譜范圍:400-800nm

2) 入射角:65°

3) 斑大小:200μm

4) 調(diào)制技術(shù):PCRSA調(diào)制技術(shù)

5) 重復(fù)性測(cè)量精度:0.01nm100nm 硅基SiO2樣件,30次重復(fù)測(cè)量

6) 膜厚測(cè)量范圍:0.1nm20μm

7) 單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間:<5s

8) 光源:高性能進(jìn)口鹵素?zé)艄庠矗u素?zé)魤勖?/font>2,000h

9) 可視化樣品顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

2、 樣品臺(tái)規(guī)格:

1) 基板尺寸:支持樣件尺寸到Ф180mm

2) Z位移行程0-10mm

3) 樣件臺(tái)俯仰角度> ±2°

 

3、 測(cè)控與分析軟件

1) 光譜測(cè)量能力:PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測(cè)量

2) 數(shù)據(jù)分析能力:具備單層、多層膜厚、光學(xué)常數(shù)(折射率、消光系數(shù))分析能力

3) 支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),并支持圖形化多振子混合模型擬合功能

4) 支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、組分比例分析功能; 核心算法包含嚴(yán)格耦合波模型、等效介質(zhì)模型

      5)支持用戶(hù)自定義,軟件不限制拷貝數(shù)量,支持windows10操作系統(tǒng)


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