基本原理
本儀器在測(cè)量工件表面粗糙度時(shí)，先將傳感器搭放在工件被測(cè)表 面上，然后啟動(dòng)儀器進(jìn)行測(cè)量，由儀器內(nèi)部的精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)傳感器沿被測(cè)表面做等速直線(xiàn)滑行，傳感器通過(guò)內(nèi)置的銳利觸針感受被測(cè)表面的粗糙度，此時(shí)工件被測(cè)表面的粗糙度會(huì)引起觸針產(chǎn)生位移，該位移使傳感器電感線(xiàn)圈的電感量發(fā)生變化，從而在相敏檢波器的輸出端產(chǎn)生與被測(cè)表面粗糙度成比例的模擬信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大及電平轉(zhuǎn)換之后進(jìn)入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，DSP 芯片對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)字濾波和參數(shù)計(jì)算，測(cè)量結(jié)果在顯示器上給出，也可在打印機(jī)上輸出，還可以與 PC 機(jī)進(jìn)行通訊。
傳感器
傳感器性能指標(biāo) | |
檢測(cè)原理 | 電感式 |
測(cè)量范圍 | 160μm |
針尖半徑 | 5μm |
針尖材料 | 金剛石 |
觸針測(cè)力 | 4mN(0.4gf) |
觸針角度 | 90° |
導(dǎo)頭縱向半徑 | 45mm |
規(guī)格參數(shù)
項(xiàng)目 | BM941 | |
測(cè)量范圍 | Z 軸 （垂直） | 160μm |
X 軸 （水平） | 17.5mm | |
分辨率 | Z 軸 （垂直） | 0．01μm/±20μm |
0．02μm/±40μm | ||
0．04μm/±80μm | ||
測(cè)量項(xiàng)目 |
參數(shù) | Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt==Rmax Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Rs Rsk Rku Rsm Rmr |
標(biāo)準(zhǔn) | ISO,ANSI,DIN,JIS | |
圖形 | 支承率曲線(xiàn)， | |
濾波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
取樣長(zhǎng)度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm | |
評(píng)定長(zhǎng)度（ln） | Ln= lr×n n=1~5 | |
傳感器 | 測(cè)量原理 | 位移式差動(dòng)電感 |
觸針 | 天然金剛石，90 錐角，5μm 針尖半徑 | |
測(cè)力 | <4mN | |
導(dǎo)頭 | 硬質(zhì)合金，滑行方向半徑 40mm | |
滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | |
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | ||
lr=2. 5, Vt=1mm/s | ||
返回 Vt=1mm/s | ||
示值誤差 | 不大于±10% | |
示值變動(dòng)性 | 不大于 6% | |
電源 | 內(nèi)置鋰離子充電電池，用 DC5V,800mA 充電器充電 | |
外形尺寸 | 141×55×40mm | |
重量 | 約 400g | |
工作環(huán)境 | 溫度：- 20℃ ~ 40℃；濕度：< 90% RH | |
儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境 | 溫度：- 40℃ ~ 60℃；濕度：< 90% RH | |
測(cè)量參數(shù)
參數(shù) | 顯示范圍 |
Ra Rq | 0.005μm ~ 16μm |
Rz; R3z ; Ry ; Rt; Rp; Rm | 0.02μm ~ 160μm |
Sk | 0 ~ 99% |
S; Sm | 1mm |
tp | 0 ~ 99% |
標(biāo)配配置
主機(jī) | 1臺(tái) |
標(biāo)準(zhǔn)傳感器 | 1支 |
多刻線(xiàn)樣板 | 1塊 |
樣板支架 | 1個(gè) |
活動(dòng)支架 | 1套 |
電源適配器 | 1個(gè) |
USB充電電纜 | 1根 |
儀器箱 | 1個(gè) |
使用說(shuō)明書(shū) | 1 本 |
合格證 | 1 張 |
保修卡 | 1 張 |
