產(chǎn)品特點
PRODUCT FEATURES
為滿足半導(dǎo)體封裝測試行業(yè)對無塵烘烤的需求，深圳怡和興根據(jù)行業(yè)的使用習(xí)慣、材料特性、工藝流程等特點研發(fā)出半導(dǎo)體潔凈烤箱。潔凈烤箱主要通過空氣過濾器來凈化環(huán)境,避免空氣中的細(xì)小顆粒物進去箱內(nèi)。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)，經(jīng)100級耐高溫高效空氣過濾器反復(fù)過濾，使工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。潔凈烤箱主要適用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
1、結(jié)構(gòu)組成：由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道循環(huán)系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理。
2、密封性設(shè)計：全周氬焊，采用耐高溫硅橡膠無塵密封條隔熱，確保密封性和潔凈度
3、外部防塵處理：外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過粉體噴塑，耐磨不掉塵渣；
4、高效過濾器：HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室，99.99%有效過濾，潔凈度達(dá)到等級100級；
5、節(jié)能：保溫材質(zhì)為高密度纖維，保溫節(jié)能；
6、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計：內(nèi)箱層板高低可調(diào)，可自由取出；
7、溫控儀表：自動控制溫度，恒溫及時間控制，設(shè)有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
8、電器配件：全部采用，PID演算的溫控系統(tǒng)和超溫保護裝置，智能恒溫，溫差小，適用不同產(chǎn)品的長、短烘烤。
選配組件
1、程序控溫：可配置程序型溫度控制器，實現(xiàn)多組程序控溫。
2、測溫功能：多點測溫查看及記錄功能。
3、風(fēng)門調(diào)節(jié)：可加裝風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置，亦可實現(xiàn)風(fēng)門開關(guān)程序控制。
4、溫度記錄儀：可配置多通道溫度記錄儀，打印機或RS485接口，監(jiān)控記錄溫度變化狀況。
產(chǎn)品參數(shù)
PRODUCT PARAMETERS
型號 | YH-J100-ES-02 |
溫度范圍 | 常溫—300℃ |
溫度精度 | ±1℃ |
溫度均勻性 | ±2%（空載） |
加熱功率 | 6KW |
容積 | 350L |
工作尺寸（高*寬*深） | 910*620*620(mm) |
外部尺寸（高*寬*深） | 1750*855*1030(mm) |
過濾器 | HEPA耐高溫高效過濾器（CLASS 100） |
含氧量范圍 | 1%-100PPM(選配) |
升溫速率 | 升溫速率可調(diào)，空載常溫升至175℃大約30分鐘 |
