原理：通過(guò)超濾膜將溶液中的溶劑和小分子物質(zhì)透過(guò)膜，而大分子物質(zhì)、膠體等被截留，從而使大分子物質(zhì)在膜的一側(cè)得到濃縮.
理：超濾膜本身不能直接脫鹽，但可以作為預(yù)處理手段，去除水中的懸浮物、膠體、大分子有機(jī)物等雜質(zhì)，為后續(xù)的脫鹽工藝如反滲透、納濾等提供更優(yōu)質(zhì)的進(jìn)水，提高脫鹽效率和降低脫鹽設(shè)備的負(fù)荷及污染風(fēng)險(xiǎn).
設(shè)備優(yōu)點(diǎn)
高脫鹽率和凈化效果：反滲透膜具有很高的脫鹽能力，單級(jí)反滲透系統(tǒng)脫鹽率一般可穩(wěn)定在 97% 以上，雙級(jí)反滲透甚至可達(dá) 99% 以上，能有效去除水中的礦物質(zhì)、鹽分、有機(jī)物和微生物，確保水質(zhì)的高純度，滿足半導(dǎo)體芯片制造對(duì)超純水的嚴(yán)格要求 。
穩(wěn)定水質(zhì)：半導(dǎo)體制造過(guò)程中，水質(zhì)的穩(wěn)定性至關(guān)重要。反滲透膜技術(shù)能夠減緩原水水質(zhì)波動(dòng)對(duì)產(chǎn)水的影響，保證生產(chǎn)中水質(zhì)的持續(xù)穩(wěn)定，這對(duì)于芯片的質(zhì)量控制和成品率的提高非常重要 。
去除微粒和污染物：半導(dǎo)體制造業(yè)對(duì)水中的顆粒物和雜質(zhì)有極低的容忍度。反滲透膜能夠有效攔截水中的微粒、膠體以及病毒、細(xì)菌等微生物，確保超純水無(wú)污染，減少芯片制造過(guò)程中的瑕疵和缺陷 。
經(jīng)濟(jì)性：雖然反滲透系統(tǒng)的初期投資較高，但其運(yùn)行成本相對(duì)較低，特別是在能源消耗上。與傳統(tǒng)的蒸餾等方法相比，反滲透膜技術(shù)更加節(jié)能，有助于降低長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)成本 。
自動(dòng)化與連續(xù)性：反滲透系統(tǒng)易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，能夠連續(xù)穩(wěn)定地供應(yīng)超純水，適應(yīng)半導(dǎo)體制造過(guò)程的連續(xù)性和高效率需求。
環(huán)境友好：反滲透技術(shù)減少了化學(xué)藥劑的使用，產(chǎn)生的廢水量相對(duì)較少，且易于回收處理，符合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)環(huán)境可持續(xù)性的追求 。
