542系列 — 光柵式測微儀/測微頭(耐環(huán)境型)
LG100系列
規(guī)格
貨號 | 542-190 | 542-191 | 542-192 | 542-193 | 542-194 | 542-195 | 542-196 | 542-197 |
型號 | LG100-110 | LG100-0510 | LG100-0110 | LG100-125 | LG100-0525 | LG100-0125 | LG100-150 | LG100-0550 |
測量范圍 | 10 mm | 25 mm | 50 | mm |
分辨力 | 1 pm | 0.5 pm | 0.1 pm | 1 pm | 0.5 pm | 0.1 pm | 1 pm | 0.5 pm |
示值誤差(20。0 L二任意測量長度(mm) | 1.5 + L/50 pm | 0.8 + L/50 pm | 1.5 + L/50 pm | 0.8 + L/50 pm | 1.5 + L/50 pm |
窄范圍示值誤差 | 0.5pm (任意20卩m的范圍) |
重復性:2q (20°C) | 0.3 pm |
原點重復性:o (20°C) | o<0.5 pm (在同一方向通過原點的恒定速度低于300mm/s) |
測力 | 測桿朝下 | 1.4N以下 | 4.6 N以下 | 5.7 N以下 |
測桿水平 | 1.3N以下 | 4.3 N以下 | 5.3 N以下 |
測桿朝上 | 1.2N以下 | 4.0 N以下 | 4.9 N以下 |
位置檢出方式 | 光電式透射型線性編碼器 |
響應速度 | 1,500 mm/s | 400 mm/s | 1,500 mm/s | 400 mm/s | 1,500 mm/s |
輸出信號 | 90°相位差,差動方形波(RS-422A等效) |
最小邊緣間隔 | 500 ns (2 MHz) | 250 ns | (4 MHz) | 500 ns (2 MHz) | 250 ns | (4 MHz) | 500 ns (2 MHz) | 250 ns (4 MHz) |
輸出信號間距 | 4 pm | 2 pm | 0.4 pm | 4 pm | 2 pm | 0.4 pm | 4 pm | 2 pm |
原點信號(Z相)位置 | 距測 | 頭頂端(下死點)約3mm | 距測 | 頭頂端(下死點)約5mm |
質量 | 約260 g | 約300 g | 約400 g |
測頭 | 03mm硬質合金(安裝螺紋:M2.5(P=0.45)x5)標準測頭No.901312 |
裝夾套筒直徑 | 08 mm | 015 mm |
軸承類型 | 線性滾珠軸承 |
輸出電纜長度 | 2m (M主體直接引出) |
連接器 | 使用插頭:HR10A-10P-10P (HIROSE),兼容插座:HR10A-10R-10S (HIROSE),兼容連接器:HR10A-10J-10S (HIROSE) |
使用溫度(濕度)范圍 | 0 - 50°C (20 - 80% RH,無凝結) |
儲存溫度(濕度)范圍 | -10-60°C (20 - 80% RH,無凝結) |
標準附件 | 測頭更換用扳手:538610 | 測頭更換用扳手:210187 |
542系列 — 光柵式測微儀/測微頭(細長型)
LG200
規(guī)格
貨號 | 542-186 | 542-187 | 542-188 |
型號 | LG200-110 | LG200-0510 | LG200-0110 |
測量范圍 | 10mm |
分辨力 | 1pm | 0.5|jm | O.lpm |
示值誤差(20°C) | 1.5+L/50pm L=任意測量長度(mm) | 0.8+L/50卩m日壬意測量長度(mm) |
窄范圍精度 | 0.5pm (ff意20四范圍) |
重復性:2叫20。0 | 0.3|jm |
測桿朝下 | 0.8N以下 |
測力 測桿水平 | O.75N以下 |
測桿朝上 | 0.7N以下 |
位置檢出方式 | 光電式透射型線性編碼器 |
響應速度 | 1500mm/s | 400mm/s |
輸出信號 | 90。相位差,差動方形波(RS-422A等效) |
最小邊緣間距 | 500ns (2MHz) | 250ns (4MHz) |
輸出信號間距 | 4pm | 2pm | 0.4pm |
質量 | 約2Wg |
測頭 | 03mm硬質合金(安裝螺紋:M2.5(P=0.45)x5)標準測頭No.901312 |
裝夾套筒直徑 | 08mm |
軸承類型 | 線性滾珠軸承 |
輸出電纜長度 | 約2.5m (從主體直接引出) |
| 使用插頭:HR10A-10P-10P (HIROSE),兼容插座:HR10A-10R-10S (HIROSE) |
| | 兼容插孔:HR10A-10J-10S (HIROSE) |
使用溫度(濕度)范圍 | 0-50—(20-80% RH,無凝結) |
儲存溫度(濕度)范圍 | -10-60°C (20-80% RH,無凝結) |
標準附件 | 測頭更換用扳手:No.538610 |
542系列 — 光柵式測微儀/測微頭(細長型)
LGB2
規(guī)格
類型 | L-型 | 細長型 | 低測力型 | 測頭氣動型如 |
貨號 | 542-246 | 542-244 | 542-262 | 542-262H | 542-264 | 542-270*2 |
型號 | LGB2-0105L | LGB2-105L | LGB2-110 | LGB2-110H | LGB2-110-1 | LGB2-110AR |
測量范圍 | 5mm | 10mm | |
分辨力 | 0.1pm | 1pm | |
示值誤差(20。。 | 0.8pm | 2 pm | 1pm | 2 pm | |
響應速度 | 380m m/s | 900m m/s | |
測力 | 測桿朝下 | 0.65h | 以下 | OWN以下 | 0.6N以下 | 0.8N以下 |
測桿水平 | 0.6N以下 | O.75N以下 | O.55N以下 | O.75N以下 |
測桿朝上 | O.55N以下 | 0.7N以下 | 0.5N以下 | 0.7N以下 |
質量 | 約 160g | 約 155g | 約 170g |
測頭 | 03mm硬質合金(安裝螺紋:M2.5(P=0.45)x5)標準測頭No.90131 | 2 | |
裝夾套筒直徑 | 09.5 | |
軸承類型 | 線性滾珠軸承 | |
輸出電纜長度 | 2m (從主體直接引出) | |
連接器 | 使用插頭 |RM12BPE-6PH (HIROSE).兼容插座:RM12BRD-6S (HIROSE) | |
使用溫度(濕度)范圍 | 0-40°C(20-80% RH.無凝結) | |
儲存溫度(濕度)范圍 | -10-60°C(20-80% RH.無凝結) | |
標準附件 | 測頭更換專用扳手:No.538610 | |
542系列 — 高精度光柵式測微儀
LGH (0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)
貨號 | 542-715DC (標準型) | 542-716DC ■ 測力型) |
型號 | LGH-1010-B-EH | LGH-1010C-B-EH |
測量范圍 | 10mm |
分辨力 | 0.01 pm (0.05pm, 0.1 pm, 0.5pm, 1 卩 m 用計數(shù)器可切換) |
示值誤差(20°C)*1 | 0.2pm |
重復性(20°C)*1 | 0.1pm (2 c?) |
回程誤差(20°C)*1 | 0.1pm |
測桿朝下 | 0.65N以下 | 約 0.12N |
測力 測桿水平 | O.55N以下 | 不可使用 |
測桿朝上 | 0.45N以下 | 不可使用 |
位置檢出方式 | 光電反射型線性編碼器 |
響應速度 | 通常測量時:700mm/sec峰值檢測時:120mm/sec |
測微頭質量 | 約370g |
測頭 | 硬質合金S03mm (M2.5 (P=0.45) x 5mm)標準測頭No.901312 |
裝夾套筒直徑 | 015mm |
軸承類型 | 線性滾珠軸承 |
輸出電纜長度 | 約2 m |
使用溫度(濕度)范圍 | 0°C -40°C (基準溫度20°C) / 20 - 80% RH (無凝結) |
儲存溫度(濕度)范圍 | -10°C- 60°C / 20 - 80% RH (無凝結) |
575系列 — 容柵式測微儀/測微頭(Digimatic輸出型)
LGS-1012P
貨號 | 575-303 |
型號 | LGS-1012P |
測量范圍 | 12.7mm |
分辨力 | 10pm |
示值誤差(20°C) | 15pm |
測力 | 測桿朝下 | 2N以下 |
測桿水平 | 1.8N以下 |
測桿朝上 | 1.6N以下 |
位置檢出方式 | 靜電電容型ABSOLUTE線性編碼器 |
響應速度 | 無限(不適用于掃描測量) |
輸出方式 | DigimaticW 出 |
質量 | 約 190g |
測頭 | 03mm硬質合金(安裝螺紋:M2.5 (P=0.45)x5)標準測頭No.901312 |
裝夾套筒直徑 | 08mm |
軸承類型 | 滑動軸承 |
輸出電纜長度 | 2m (從主體直接引出) |
使用溫度(濕度)范圍 | 0-40—(20-80% RH,無凝結) |
儲存溫度(濕度)范圍 | -10-60°C(20-80% RH,無凝結) |