【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國(guó)外的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級(jí)形貌測(cè)量?jī)x器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測(cè)與分析。表面顯微成像能力與高精度測(cè)量的結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測(cè)到表面的三維輪廓、臺(tái)階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測(cè)量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅(jiān)固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測(cè)量過程簡(jiǎn)便而快速，只需把被測(cè)物體放置到載物臺(tái)，聚焦出干涉條紋，按下測(cè)量按鈕即可開始整個(gè)測(cè)量過程。
標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動(dòng)調(diào)整載物平臺(tái)，可依據(jù)不同測(cè)試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動(dòng)載物平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測(cè)要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測(cè)量和分析。
【系統(tǒng)構(gòu)成】
☆ 光學(xué)照明系統(tǒng) 采用鹵素光源、中心波長(zhǎng)為576nm、光譜范圍340nm—780nm
☆ 光學(xué)成像系統(tǒng) 采用無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
☆ 垂直掃描系統(tǒng) 采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)、移動(dòng)范圍100-1000μm、位置移動(dòng)精度 0.1nm
☆ 信號(hào)處理系統(tǒng) 計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用專用數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析
【工作原理】
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
【技術(shù)特點(diǎn)】
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
【使用特點(diǎn)】
? 非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測(cè)量
? 高精度測(cè)量 結(jié)果可作為計(jì)量標(biāo)準(zhǔn) 垂直解析度可達(dá)0.1nm、水平解析度可達(dá)0.1um
? 大面積測(cè)量 自動(dòng)縫合技術(shù)實(shí)現(xiàn)大面積高精度測(cè)量
? 功能強(qiáng)大 使用便捷的測(cè)量分析軟件 PRVision應(yīng)用軟件可提供多項(xiàng)測(cè)量參數(shù)
? 適用范圍廣泛 可以測(cè)量多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)
? 真正意義的免維護(hù)及優(yōu)良的性能價(jià)格比
【性能參數(shù)表】
【光學(xué)規(guī)格表】
【應(yīng)用領(lǐng)域】
在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、微機(jī)電、平面顯示器、電子封裝及光學(xué)加工等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無(wú)論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過1%，就能被檢測(cè)出來(lái)。
半導(dǎo)體硅片及器件
MEMS裝置表面
平面液晶顯示器
薄膜厚度
金屬摩擦學(xué)學(xué)
陶瓷基板表面
光學(xué)器件表面
其他材料分析及微表面研究
【測(cè)量實(shí)例】
【功能介紹】
1、硬件控制、二維載物平臺(tái)自動(dòng)控制、光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)聚焦、干涉信號(hào)處理
2、測(cè)量結(jié)果顯示及各種方式處理
3、二維平面和三維立體顯示
任意放大或縮小顯示圖像
調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn)
4、粗糙度測(cè)量及結(jié)果顯示
包括評(píng)價(jià)區(qū)域位置信息和多種粗糙度評(píng)價(jià)參數(shù)
5、線寬測(cè)量及結(jié)果顯示
采用亞像素插值處理技術(shù)，線寬測(cè)量精度可達(dá)0.1um
表格形式顯示各種線寬結(jié)果
根據(jù)事先確定的評(píng)判基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)線寬自動(dòng)評(píng)判功能
6、多幅相鄰區(qū)域測(cè)量結(jié)果自動(dòng)縫合
【顯示界面】
【設(shè)定界面】
