OptiCentric® 300/600——高精度校準(zhǔn)、組裝和大型鏡頭的最終檢驗(yàn)
OptiCentric® 300/600 Ultra Precision設(shè)備,將該儀器的優(yōu)點(diǎn)轉(zhuǎn)移到大型,重透鏡組件的測(cè)量上,其重達(dá)1200kg,直徑800mm,該系列在花崗巖基礎(chǔ)上的設(shè)計(jì)為您提供了剛性和熱穩(wěn)定性,所以即使緩慢的固化膠粘合,也能實(shí)現(xiàn)很高的精度。 | ![]() |
關(guān)鍵特點(diǎn)
測(cè)量大型透鏡,重達(dá)1200kg,直徑達(dá)800mm,高達(dá)1500mm;
花崗巖的結(jié)構(gòu)提供了剛性和熱穩(wěn)定性;
帶編碼器的線性空氣軸承,精確的定位在測(cè)量頭上;
用自準(zhǔn)直儀的測(cè)量頭,透鏡中心的高精密的測(cè)量;
可交換的透明幾乎是無限的測(cè)量范圍,不需要測(cè)量頭的不方便長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)動(dòng);
反射和透射的測(cè)量;
大范圍的軟件選項(xiàng):多鏡頭,AspheroCheck UP,SmartAlign;
可選中心厚度測(cè)量精度可達(dá)0.15μm;
集成的配件,如工作臺(tái)、測(cè)量導(dǎo)軌、膠水分配器、紫外照明;
的軟件控制著OptiCentric®整個(gè)系統(tǒng);
應(yīng)用
在顯微光刻法、空間和其他行業(yè)中的大型光學(xué)儀器。 用MultiLens軟件模塊測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的中心; 測(cè)量光軸,相對(duì)與機(jī)械軸; 測(cè)量EFL、BFL、FFL、軸上MTF(OptiSpheric®升級(jí)); 通過使用低相干干涉儀測(cè)量空氣間隔和中心厚度(OptiCentric® 3D 升級(jí)); 表面半徑測(cè)量; 球面、非球面、圓柱透鏡的測(cè)量; 紅外透鏡的測(cè)量(OptiCentric®UltraPrecision的配置取決于透鏡材料和應(yīng)用); | ![]() |
OptiCentric®軟件——比較全面的中心偏差測(cè)量軟件
OptiCentric®系統(tǒng)的用戶通過OptiCentric® 軟件控制整個(gè)測(cè)量過程,所有的組件、升級(jí)、測(cè)量和分析程序都集成到軟件程序中,這樣用戶可以輕松、快速、高精度的測(cè)量。 | |
主要優(yōu)勢(shì)
實(shí)時(shí)顯示測(cè)量值/中心偏差實(shí)時(shí)測(cè)量;
反射和投射測(cè)量取決于OptiCentric®系統(tǒng);
各階段的協(xié)調(diào)控制和分析;
所有集成傳感器的數(shù)據(jù)采集和分析;
自動(dòng)對(duì)焦;
測(cè)量目標(biāo),非球面透鏡和柱狀透鏡的方法;
用于測(cè)量目標(biāo)的多鏡頭選項(xiàng);
中心偏差計(jì)算和用戶的機(jī)械或者光學(xué)參考軸的對(duì)齊方式;
數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出;
通過/失敗的指標(biāo);
OptiCentric® 300 UltraPrecision | OptiCentric® 600 UltraPrecision | OptiCentric® 800 UltraPrecision | |
精度在VIS范圍內(nèi) | 0.1µm | 0.1µm | 0.1µm |
樣品直徑 | 400mm | 700mm | 800mm |
空氣軸承 | ?300mm | ?600mm | ?800mm |
樣品高度 | 1000mm(其他要求) | 1500mm(其他要求) | 1500mm(其他要求) |
樣品重量(MAX) | 450kg | 900kg | 1200kg |
VIS光譜范圍的測(cè)量 | 上光路:自準(zhǔn)直儀焦距500mm ; 下光路:自準(zhǔn)直儀焦距300mm | 上光路:自準(zhǔn)直儀焦距500mm; 下光路:自準(zhǔn)直儀焦距300mm | 上光路:自準(zhǔn)直儀焦距500mm;下光路:自準(zhǔn)直儀焦距300mm |
光源 | 高功率綠色LED光源 | 高功率綠色LED光源 | 高功率綠色LED光源 |
OptiCentric®升級(jí)和配件
OptiCentric®系統(tǒng)是模塊化的,可以通過升級(jí)和附件進(jìn)行擴(kuò)展,以便在測(cè)量中心偏差、校準(zhǔn)透鏡和固化消色時(shí)擴(kuò)大其應(yīng)用范圍;
更新和升級(jí)
OptiCentric®升級(jí)
除了對(duì)中之外,OptiCentric®更新還可以測(cè)量有效焦距、后焦距、法蘭焦距、曲率半徑和軸上MTF;
MultiLens更新
MultiLens是衡量和調(diào)整目標(biāo)的更新軟件。物鏡每個(gè)表面的中心誤差和系統(tǒng)的中心測(cè)量都是非破壞性的。
SmartAlign升級(jí)
利用獲得的SmartAlign算法(可作為OptiCentric®軟件的更新版本),分析測(cè)量中心誤差相對(duì)于用戶定義的光軸貨機(jī)械軸位置,這個(gè)工具在“OptiCentric® for Production系列”中的使用比較成功。
升級(jí)到OptiCentric® 3D
為了測(cè)量物鏡內(nèi)的中心厚度和空氣間隔,低相干干涉儀OptiCentric®可以集成到OptiCentric®系統(tǒng)中。
雙膠合的固井升級(jí)
每個(gè)配備有空氣軸承的OptiCentric®系統(tǒng)都進(jìn)行升級(jí),以實(shí)現(xiàn)鏡片的高精度定位和固定。因此,投入新系統(tǒng)是必要的。 | ![]() |
CylinderCheck升級(jí)
通過CylinderCheck升級(jí),可以確定圓柱軸的中心和圓柱形透鏡的楔形。 | ![]() |
升級(jí)為測(cè)試紅外光學(xué)
對(duì)于已安裝的紅外光學(xué)系統(tǒng)的質(zhì)量控制,可視范圍內(nèi)的測(cè)量頭與用紅外線工作的測(cè)量頭交換。 | ![]() |
AspheroCheck升級(jí)
AspheroCheck升級(jí)使用高精度光學(xué)距離傳感器來測(cè)量非球面相對(duì)于給定參考軸和斜率和位置。 | ![]() |
OptiAngle®升級(jí)
此次升級(jí)將OptiAngle®系統(tǒng)轉(zhuǎn)變?yōu)槠矫婀鈱W(xué)角度測(cè)量的工具。 原則上,OptiCentric®系列的所有設(shè)備都可以集成到工作站中。配件、個(gè)人電腦和各種控制器可以安裝和存儲(chǔ)在特別設(shè)計(jì)的理念,因此,使我們的設(shè)備日常工作變得更容易,同時(shí)提高效率。 | ![]() |
飾品
擴(kuò)展附件組件,簡(jiǎn)化OptiCentric®系統(tǒng)的應(yīng)用。
帶有吸附裝置的旋轉(zhuǎn)裝置
帶有真空裝置旋的是一個(gè)旋轉(zhuǎn)裝置,以外邊緣為基準(zhǔn)來測(cè)量單個(gè)透鏡的對(duì)中誤差。使用電機(jī)驅(qū)動(dòng)的摩擦輪將鏡頭轉(zhuǎn)到V棱鏡上。鏡頭通過真空保持在適當(dāng)位置。所以功能的控制,如壓力、旋轉(zhuǎn)和真空泵集成在一個(gè)控制單元,壓縮空氣管系統(tǒng)不是必需的。
傾斜表(TRT)
OptiCentric®系統(tǒng)使用傾斜表對(duì)齊樣本。傾斜臺(tái)的分離運(yùn)動(dòng)可以精確定位樣品貨樣品架。針對(duì)各種應(yīng)用和測(cè)量系統(tǒng),傾斜工作臺(tái)有不同的直徑。 | ![]() |
擴(kuò)展測(cè)量范圍
頭戴式鏡頭可將OptiCentric®系統(tǒng)的測(cè)量范圍的曲率半徑和焦距擴(kuò)展到±2000mm以上。這意味著OptiCentric®系統(tǒng)比沒有頭戴式的系統(tǒng)靈活的多。
編碼器升級(jí)
線性編碼器升級(jí)為高分辨率。
塔臺(tái)
建議使用轉(zhuǎn)臺(tái)快速輕松的更換頭部鏡頭。OptiCentric®提供了一個(gè)手動(dòng)4X換盤機(jī)和一個(gè)電動(dòng)控制的6X換盤機(jī)。 | ![]() |
探頭和線性標(biāo)尺
所有傳感器和線性標(biāo)尺都集成到系統(tǒng)中,并使用軟件進(jìn)行分析,鏡頭或底座的邊緣由光學(xué)或觸覺傳感器測(cè)量,并用于確定鏡頭或底座的對(duì)稱軸,然后軟件檢查對(duì)稱軸和光軸現(xiàn)對(duì)于彼此的位置。線性標(biāo)尺是鏡片半徑測(cè)量所必需的。 | ![]() |
光源
大多數(shù)OptiCentric®系統(tǒng)都有標(biāo)準(zhǔn)的照明接口,因此可以使用不用的光源(大功率LED、冷光源)。
對(duì)其集
一組具有兩個(gè)高精度的平面平行板(直徑25mm和50mm)和兩個(gè)玻璃珠(直徑4mm…12mm和14mm…28mm)可供校準(zhǔn)樣品貨直接對(duì)準(zhǔn)樣品固定件和外殼。
參考楔
參考楔塊用于檢查OptiCentric®系統(tǒng)的測(cè)量精度,他們符合國際標(biāo)準(zhǔn)。
OptiCentric®參考物鏡
結(jié)合OptiCentric® 3D更新,建議使用量塊,通過該量塊可以檢查空氣間隔和中心厚度測(cè)量的準(zhǔn)確性,量塊符合國際標(biāo)準(zhǔn)。
真空夾頭
由于大量獨(dú)立的鏡片設(shè)計(jì),幾乎不可能所有鏡頭使用標(biāo)準(zhǔn)夾具。因此各種各樣尺寸的夾盤都比較適合許多常見透鏡幾何結(jié)構(gòu)。真空夾盤的設(shè)計(jì)保持簡(jiǎn)單和成本低廉,所有原則上它們可以單獨(dú)使用且不用太多成本。