在售的的液體加熱系統(tǒng)已經(jīng)能夠滿足目前高科技工業(yè)的需求,LSC-A100可以不需要載氣并提供大流量氣化,LSC-A100能夠提供穩(wěn)定的氣化后的液體,例如TESO 60SCCM和H2O 2SLM。
所有的設(shè)備操作可以在設(shè)備前端的操作界面上實(shí)現(xiàn)。一種可選的袖珍PC型的PDA可以用來(lái)監(jiān)視LSC的操作狀態(tài),并且去記錄和分析操作數(shù)據(jù),LSC系列是一種針對(duì)諸如TEOS等液體的液體氣化系統(tǒng),歷史證實(shí)這是一種很受歡迎的系列。LSC-A100是LSC系列中的一種型號(hào),可以產(chǎn)生大流量的蒸汽。和之前的型號(hào)比較,新的LSC-A100可以在沒(méi)有載氣的情況下提供穩(wěn)定的液體氣化,可以傳送穩(wěn)定持續(xù)的蒸汽供應(yīng)(如600ccm的TEOS,2SLM的H2O)。大氣化LSC-A100提供穩(wěn)定的液體氣化,諸如TEOS 600SCCM和H2O 2SLM所有的設(shè)備操作可以在設(shè)備前端的操作界面上實(shí)現(xiàn)一種可選的袖珍PC型的PDA來(lái)監(jiān)視LSC的操作狀態(tài),并且去記錄和分析操作數(shù)據(jù)。