產(chǎn)品簡介
HRH-V型高低溫真空探針恒溫器是為半導(dǎo)體等精密測試領(lǐng)域量身定制的。與HRH-O和HRH-C的標(biāo)準(zhǔn)配置相比，HRH-V提供了更廣泛的靈活性和配置選項。它能夠與氣浮隔振平臺、顯微控制系統(tǒng)以及真空發(fā)生系統(tǒng)等附件無縫配合，從而顯著提高測試的效率和精確度。用戶可以根據(jù)自己的具體需求，選擇不同型號和配置的高低溫真空變溫測試臺，以滿足各種測試場景的要求。
產(chǎn)品特點
□ 溫度控制范圍：能夠達(dá)到極低和的溫度,4K至1000K；
□ 真空度：能夠在高真空環(huán)境下操作，極限真空度優(yōu)于2Pa（機械泵），或優(yōu)于3*10-4 Pa（分子泵）；支持配置多種真空發(fā)生器；
□ 控溫精度：控溫精度可達(dá)±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；
□ 探針位移：具有高精度的探針位移系統(tǒng)，重復(fù)定位精度可達(dá)2μm，分辨率3μm；
□ 樣品臺：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸等多種尺寸可選；
□ 支持耦合各種顯微部件；
□ 支持定制化光場、電場協(xié)同作用測試；
□ 定制功能：提供靈活定制化功能，支持設(shè)備聯(lián)用方案設(shè)計。
功能參數(shù)
配置
| 參數(shù)
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| 真空腔體 | 真空腔材質(zhì)為無磁材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，如不銹鋼、鋁合金等，典型：鋁合金一體成型，直徑≥220mm，高度≥140mm，防輻射屏帶≥50mm藍(lán)寶石窗口，可定制不同體積腔體，通過O圈和CF法蘭密封；
高可見光透射觀察窗口設(shè)有兩層，外層為紅外絕熱窗片，隔絕環(huán)境光輻射；
探針臂：配置4個直流臂，外部預(yù)留三同軸接口，可進(jìn)行直流到50MHz的射頻測量，探針臂的漏電流要求小于100fA@1V@4.5K-350K，整體帶有不低于50歐姆的匹配阻抗；預(yù)留2個探針臂，支持后續(xù)甚至拓展；
降溫時間：120分鐘到5K；
下法蘭帶固定端，與光學(xué)平臺連接；
直徑為4英寸的紫銅材質(zhì)樣品臺；
真空度：室溫：優(yōu)于5×10-4mbar；基礎(chǔ)溫度：優(yōu)于5×10-5mbar；
氣孔：標(biāo)配一個KF25真空抽氣口，一個快速破真空進(jìn)氣口
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| 探針臺座 | X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)：X方向移動范圍≥50mm；Y方向移動范圍≥25mm；Z方向移動范圍≥25mm，R-±10°，X/Y/Z方向的加工精度≤±0.03 mm；讀數(shù)精度不小于10um，旋轉(zhuǎn)精度不小于0.01°，移動精度不小于10um，旋轉(zhuǎn)精度不小于0.01°，可以滿足全部4英寸范圍的扎針；
每個探針臂預(yù)留≥2個真空密封法蘭，支持升級拓展；
樣品臺三檔高度可調(diào)；
位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定；
配鈹銅、鎢等探針；
標(biāo)準(zhǔn)4英寸接地樣品臺，支持不同尺寸樣品臺
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| 光學(xué)平臺 | 光學(xué)隔振平臺專門設(shè)計的水平減震機構(gòu)，隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個方向上都提供了優(yōu)異的減振性能，減振器自身的自然振動頻率非常低，防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺；
穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié)，穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊；
平面度＜0.10mm/m2；
固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz；
振幅＜1.2μm；
重復(fù)定位精度±0.05mm。
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| 顯微成像系統(tǒng) | 顯微鏡帶有LED環(huán)形和同軸光源，配合CCD相機，可以將待測器件放大10-180倍，工作距離90-100mm；
CCD相機分辨率不小于3μm，有拍照、錄像等功能，可以將照片、視頻通過數(shù)據(jù)線傳輸?shù)诫娔X端；
X/Y方向移動距離≥40mm，成像分辨率≤4微米，連續(xù)變倍比≥6.5:1
配高清成像CCD，采用USB連接電腦，2000萬像素，HDMI數(shù)字傳輸接口，數(shù)據(jù)傳輸速率≥480MPS, 通過軟件調(diào)節(jié)亮度、對比度、銳度和伽馬值，可以拍照、錄像；
探測儀配件*：可探測波長范圍3-6μm，收光范圍覆蓋φ2 mm，外部電源±12V，工作溫度覆蓋0-40℃，液氮制冷，內(nèi)置放大器，工作頻率覆蓋5-12000Hz。
*注：支持定制多種探針臺結(jié)合的檢測探測耦合方案
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| 真空系統(tǒng) | 配置一：配備普發(fā)(Pfeiffer Vacuum，德國)分子泵。前級泵為隔膜泵，抽速不低于1立方米/小時/氮氣，分子泵機組抽速不低于67L/s @氮氣，極限真空小于1X10-7mbar；含全量程真空規(guī)和配套真空計等。
配置二：配風(fēng)冷復(fù)合分子泵+機械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa，30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa，極限真空度3*10-5Pa。分子泵：抽速600L/s；機械泵：抽速3L/s。含全量程真空規(guī)和配套真空計等。
常溫真空系統(tǒng)極限噪音電流≤100fA，配合半導(dǎo)體參數(shù)分析儀；
備注：支持其它定制化真空發(fā)生器配置。
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| 溫控系統(tǒng) | 高溫部件構(gòu)成及低溫部件構(gòu)成；
具有不少于8通道獨立輸入和兩通道分別為100W和50W的加熱輸出。樣品臺上帶有高精度高低溫溫度傳感器和100W高低溫高精度專用加熱器；
溫度范圍：4.5K～500K，分辨率不低于1K；
制冷形式：采用閉循環(huán)制冷機制冷，不需要消耗液氮或液氦（采用連續(xù)流降溫技術(shù)），降溫到基礎(chǔ)溫度時間≤45分鐘（典型：室溫到基礎(chǔ)溫度消耗液氮4-5L，80k控溫液氮≤1.5L/h）；
≥8KW一體風(fēng)冷循環(huán)冷卻水；
制冷源及維護(hù)時間：冷頭維護(hù)時間不少于10000個小時；壓縮機維護(hù)時間不少于30000個小時；
同軸制冷劑入口，具有二級熱交換平臺；
高精度液氮傳輸管線，流量傳輸管線采用真空密封波紋管，雙層套管結(jié)構(gòu)，可精細(xì)調(diào)節(jié)液氮流量；
搭配50L等液氮杜瓦罐，自增壓，匹配探針臺傳輸管線，包括壓力計，氣口，氣閥
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充氣系統(tǒng)
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| 備品備件 | 密封套件；
鎢鋼、鈹銅等探針（含多種規(guī)格）；
探針臂陶瓷件；
同軸電纜等；
安全壓力閥（10psi）。
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