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美國(guó)實(shí)驗(yàn)室小型光刻機(jī)

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  • 型號(hào)
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  • 所在地廣州市
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  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)廣州市
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光刻機(jī)美國(guó)實(shí)驗(yàn)室小型光刻機(jī)172納米全新加工原理傳統(tǒng)172nm光源的低輸出功率阻礙了該波長(zhǎng)在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用
美國(guó)實(shí)驗(yàn)室小型光刻機(jī) 產(chǎn)品詳情


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光刻機(jī)美國(guó)實(shí)驗(yàn)室小型光刻機(jī)

172納米 全新加工原理

傳統(tǒng)1 72 nm光源的低輸出功率阻礙了該波長(zhǎng)在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用。 π2 -CYGNI克服了這一障礙,并揭示了1 72nm的真正能力-全新化學(xué)驅(qū)動(dòng)方法,反應(yīng)方式和加工技術(shù)。

紫外線不僅僅用于光刻和固化!

全新能量驅(qū)動(dòng)方式

紫外線弧光燈可提供較高的平均功率。 準(zhǔn)分子紫外線源提供高光子通量。 π2 -CYGNI提供高平均功率和高光子通量- 無需主動(dòng)或外部冷卻。

高功率和高光子通量的這種組合包裝在便攜的封裝內(nèi),并引發(fā)了其他光源無法實(shí)現(xiàn)的大面積反應(yīng)和過程。

全新技術(shù)燈具

每個(gè)π2 -CYGNI的是一個(gè)超薄(<4毫米)平面微腔放電燈。 與傳統(tǒng)的弧光放電燈相比,廣域發(fā)射提供了卓越的均勻性,同時(shí)消除了對(duì)復(fù)雜的聚光,準(zhǔn)直和均化光學(xué)器件的需求。

紫外線無泄漏

在π2 -CYGNI之前,產(chǎn)生紫外線通常意味著產(chǎn)生有毒物質(zhì),低轉(zhuǎn)換效率和高設(shè)備成本。 π2 -CYGNI通過提供一種環(huán)保且節(jié)能的解決方案打破了這些障礙。 π2

-CYGNI的制造和使用過程中不使用有毒材料,在生產(chǎn)過程中使用π- CYGNI可以減少化學(xué)材料和水的消耗。 有效的降低了使用成本,即成本僅是使用其他1 72 nm光源成本的一小部分。

光刻機(jī)美國(guó)實(shí)驗(yàn)室小型光刻機(jī)

輸出強(qiáng)度 > 10 mW/cm2

強(qiáng)度均勻性 < 3%

峰值輸出波長(zhǎng) 172 nm

-3dB寬度(FWHM) 8.9 nm

發(fā)光面積 43 mm x 43 mm

預(yù)熱時(shí)間(從0到95%) < 2 s

直流輸入電壓 12 V

電源輸入電壓 110-220 V / 50-60 Hz

氮?dú)?氬氣流速* 0.5-1 SCFM

壽命 > 5000 hours

功耗 < 25 W

傳輸環(huán)境:氮?dú)?,氬氣,UV級(jí)熔融石英,高真空

π2-Cygni 系統(tǒng)參數(shù)

π-Cygni消除了對(duì)特定光刻膠化學(xué)物質(zhì)的需求

由于光具有高能量(每個(gè)光子7 .2eV),現(xiàn)在幾乎可以將任有機(jī)聚合物用作光刻膠!π2-CYGNI的1

72nm可實(shí)現(xiàn)更高分辨率的成像,使用簡(jiǎn)單且廉價(jià)的光刻膠可以消除傳統(tǒng)基于DNQ的光刻膠系統(tǒng)產(chǎn)生的堿廢物。

新型,新的可能性

重新定位傳統(tǒng)的光刻膠。 由于曝光機(jī)制的性質(zhì),不再需要光敏劑。 簡(jiǎn)而言之,π2-CYGNI分解有機(jī)聚合物鏈,直到它們揮發(fā)和蒸發(fā)。

此過程是通用的-幾乎所有有機(jī)聚合物現(xiàn)在都可以用作光刻膠,即使是固體形式也是如

此。

干/正/負(fù)處理-由您決定!

由于有機(jī)膜質(zhì)量減少,在曝光期間產(chǎn)生圖像,因此消除了對(duì)單獨(dú)顯影步驟的需要。

由此產(chǎn)生的高對(duì)比度足以用于其他過程,從而減少了處理時(shí)間并減少了廢物的生。為了滿足更苛刻的應(yīng)用,可以在曝光后對(duì)有機(jī)聚合物進(jìn)行進(jìn)一步處理以提高分辨率。 但是,與傳統(tǒng)光刻膠不

同,色調(diào)(正或負(fù))由顯影液而不是敏化劑決定。 除了減少質(zhì)量和蒸發(fā)外,由于鏈長(zhǎng)減少,在曝光過程中聚合物中也會(huì)發(fā)生交聯(lián)。

的單曝光分辨率

較短的波長(zhǎng) 較高的分辨率。 與I 線光刻相比,π2-

CYGNI具有將分辨率提高50%的潛力。


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