Leica DM8000 M——高效率檢查及缺陷分析系統(tǒng)
徠卡 DM8000 M 提供了全新的光學(xué)設(shè)計(jì)，如理想的宏觀檢查模式或者傾斜紫外光 (OUV, 隨檢UV 選擇) 不但提高了分辨能力，同時(shí)也增加了觀察 8’’/200 毫米直徑大樣品時(shí)的產(chǎn)量。
該機(jī)照明基于的 LED 科技，一體化整合在顯微鏡機(jī)身上。 低熱輻射效應(yīng)和一體化內(nèi)置技術(shù)確保了顯微鏡四周空間具有理想化的空氣環(huán)流。 LED的超長使用壽命和低能耗特性大大降低了用戶今后的使用成本。只要一指按鍵就可以切換放大倍率、照明模式或相襯模式。
品質(zhì)特征
● 高級(jí)智能數(shù)字式正置材料顯微鏡,適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、電子元器件,粉塵顆粒等樣品的觀察分析,多種安全設(shè)計(jì),保護(hù)晶圓,鏡頭及觀察者；
● 模塊化設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置；
● 復(fù)消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑；
● 可選配UV光源,提高觀察分辨率至亞微米結(jié)構(gòu),UV由大功率LED產(chǎn)生,具有UV和0UV功能；
● 8x8大樣品臺(tái),可實(shí)現(xiàn)8＂晶圓的直接觀察；
● 6孔位電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤,配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡；
● 內(nèi)置電動(dòng)或手動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)；
● 0.7X宏觀物鏡,具有宏觀晶圓檢查功能；
● 可實(shí)現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明觀察方式；
● 機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明電源,智能光強(qiáng)變化控制照明方式；
● 能自動(dòng)記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下的光強(qiáng)、光闌大小及聚光鏡的組合,自動(dòng)恢復(fù)到位,操作簡單快速；
● 機(jī)座配觸摸按鈕,控制顯微鏡的操作；
● 光強(qiáng)、光闌、觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)可由按鍵和計(jì)算機(jī)控制操作,并自動(dòng)在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應(yīng)倍數(shù)標(biāo)尺；
● 具有色溫恒定系統(tǒng),提供工作效率；
● 可連接晶圓搬送機(jī)進(jìn)行連續(xù)工作；
● 可配接攝像頭,數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行圖像采集、分析、測量；
● 可配接熒光觀察、高溫?zé)崤_(tái)、陰極發(fā)光儀、光度計(jì)；
● 可配接自動(dòng)掃描臺(tái)進(jìn)行多視場非金屬夾雜物分析和顆粒粒度、清潔度分析。
參數(shù)/型號(hào) | Leica DM 8000M |
光學(xué)系統(tǒng) | Leica HC 光學(xué)器件 (光學(xué)系統(tǒng)校正至無限遠(yuǎn)) |
觀察鏡筒 | 三目人工學(xué)鏡筒，直立和同向圖像 |
切換位置 (目鏡/攝像頭)： 100/0 和 0/100，100/0 和 50/50 | |
宏觀成像 | 超廣視野概覽圖像，樣品上掃描區(qū)域 40 mm |
照明系統(tǒng) | 全 LED 入射光照明；觀察技術(shù)：亮場、暗場、微分干涉相襯、定性偏振、斜射照明、紫外線、斜射紫外線 |
全 LED 透射光照明；觀察技術(shù)：亮場、定性偏振 | |
狀態(tài)反饋 | 正面的狀態(tài)指示器 |
工作間隔指示器 (儀器背面) | |
操作支持 | 內(nèi)置相襯管理器及科勒照明管理系統(tǒng) |
物鏡轉(zhuǎn)換盤 | 手動(dòng)檢驗(yàn)載物臺(tái) 8 x 8”，202 x 202 mm 移動(dòng)范圍，內(nèi)置快速調(diào)節(jié) |
掃描載物臺(tái) 8 x 8”；202 x 202 mm 移動(dòng)范圍，電動(dòng)，4 mm 高度 | |
控制單元 | 操縱桿，帶 4 個(gè)可自由編程的功能鍵 |
Leica SmartMove，x、y、z 控制，帶 4 個(gè)可自由編程的功能鍵 | |
Leica STP6000 SmartTouch，x、y、z 控制，帶 4 個(gè)可自由編程的功能鍵 | |
聚焦 | 耐用型手動(dòng) 2 級(jí)聚焦，粗調(diào)和微調(diào)模式；35 mm 移動(dòng)范圍；高度可調(diào)式聚焦手柄 |
精準(zhǔn) 3 級(jí)聚焦，粗調(diào)、微調(diào)和超微調(diào)模式；35 mm 調(diào)節(jié)范圍；高度可調(diào)式聚焦手柄 | |
電動(dòng) 2 級(jí)聚焦；35 mm 移動(dòng)范圍；強(qiáng)重復(fù)能力；齊焦補(bǔ)償 | |
電氣系統(tǒng) | 供電電壓：100120/220–240 V AC (%)，50/60 Hz |
重量 | 約 52 kg (其中顯微鏡約 36.5 kg) |
應(yīng)用 | 圓晶、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒 |
