平面度測(cè)量?jī)x 快速、準(zhǔn)確地測(cè)量經(jīng)粗磨、研磨、精磨、拋光和精加工的部件
Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級(jí)的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量。
Tropel Flat master 100平面度儀技術(shù)特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域: | ||
? 無(wú)接觸和無(wú)損傷測(cè)量 ? 適用多種類(lèi)型材料: 半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料 ? 適用多種類(lèi)型晶片: 硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類(lèi)型表面: 研磨表面,拋光面、光滑面 | ![]() | ![]() |
可測(cè)量多種指標(biāo) | 完整的分析系統(tǒng) | ||
● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 壓力 | ● 翹曲度 ● 彎曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 線輪廓 ● 表面輪廓 | ● 三維 ● 拓?fù)?br /> ● 合格率 ● 分布 ● 二維環(huán)形 ● 半徑切面 | ● 平面 ● 球面 ● 錐形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度 |
技術(shù)參數(shù): | |
? 精度:50nm (2.0μ″) ? 重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma) ? 分辨率:5nm (0.2μ″) ? 可測(cè)量工件尺寸:25mm-100mm(更小工件也可提供) ? 動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍:>100um ? 測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn):230,000 / measurement ? 測(cè)量時(shí)間:5秒 ? 電源: ~220V 50Hz | ![]() |