LUPHOScan HD
用于測量非球面、自由曲面光學(xué)元件和透鏡模具的非接觸式三維形狀/外形測量設(shè)備。
LUPHOScan HD非接觸式三維光學(xué)輪廓儀可對(duì)高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進(jìn)行高精度的非接觸式三維輪廓測量。LUPHOScan HD的穩(wěn)定性是Lin先的，特別在一些嚴(yán)苛的環(huán)境下，也能保證對(duì)非球面和自由曲面進(jìn)行高精度地快速輪廓測量，新一代LUPHOScan HD三維輪廓儀是在高達(dá) 90°的采樣斜率上精度優(yōu)于 50 nm (3σ) 的儀器。
全新的 LuphoScan 260/420 HD是對(duì)高精度有著很高要求應(yīng)用的理想選擇，是生產(chǎn)過程控制的基本要求?？蓽y量坡度很高的表面、具有不同間距方向的表面、很小的表面例如手機(jī)鏡頭模具。
Technology | Accuracy |
| 在測量過程中，探頭對(duì)被測物體的整個(gè)表面執(zhí)行螺旋掃描，并生成高密度3D數(shù)據(jù)。 通過使用空氣軸承主軸旋轉(zhuǎn)物體來實(shí)現(xiàn)掃描，同時(shí)使用線性平臺(tái)使傳感器徑向和軸向移動(dòng)。 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使傳感器垂直于物體表面。 移動(dòng)平臺(tái)的布局提供了很高的靈活性，即使對(duì)于不常見的表面形狀（包括陡峭的坡度或帶有拐點(diǎn)的輪廓）也是如此。 基于所采用的MWLI傳感器技術(shù)的測量能力，計(jì)量儀器還可以檢查不連續(xù)的光學(xué)器件，例如分段表面，環(huán)形透鏡，非球面透鏡和軸錐。 此外，LuphoSwap擴(kuò)展組件還可以確定透鏡的厚度以及楔形和偏心誤差。 它的軟件還可以用于分析（全自動(dòng)）光學(xué)表面相對(duì)于用戶定義的參考表面的定位，例如鏡片周邊，任何鏡片安裝座或模具鏡筒。 | LuphoScan平臺(tái)可提供出色的形狀測量精度。 這是通過特別的參考框架概念和遵循阿貝原理的精密的參考傳感器布置實(shí)現(xiàn)的。 在LuphoScan 260 HD平臺(tái)中，通過選擇新的材料，改進(jìn)的傳感器控制，實(shí)時(shí)包括周圍環(huán)境以及的校準(zhǔn)功能對(duì)概念進(jìn)行了優(yōu)化。 這樣，高清系統(tǒng)在90°范圍內(nèi)提供的測量精度優(yōu)于±50 nm（3σ）。 此外，測量結(jié)果的可重復(fù)性和本底噪聲得到了非常大的改善。 下圖顯示了在高達(dá)90°的重復(fù)測量中確定的校準(zhǔn)球（D = 25 mm）的功率和PV誤差變化的示例。 在14小時(shí)的測量期間內(nèi)，功率和PV的變化分別保持小于±15 nm和±5 nm。 |
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測量能力非常高 |
快速的、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測量
高精度 - 物件坡度高至90°。
是測量大的、陡峭的和很小的非球面鏡頭（如手機(jī)鏡頭模具）的理想選擇
測量結(jié)果很高的重復(fù)性
Power和PV測定參數(shù)的穩(wěn)定性
系統(tǒng)噪音很低
堅(jiān)固耐用，不受環(huán)境變化的影響
LuphoScan平臺(tái)是基于利用MWLI技術(shù)（多波長干涉儀）的光學(xué)（非接觸）點(diǎn)探針的掃描干涉儀。
