主要技術(shù)指標(biāo)
電源:220V 50Hz
功率:<560w(不含真空泵)>560w(不含真空泵)>
極限真空度:< e-6mbar(配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到e-5mbar)="">
工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實際需要提升溫度)
靶槍數(shù)量:2個(可選配其他數(shù)量)
靶槍冷卻方式:水冷
靶材尺寸:?2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
直流濺射功率:500W(可選)
射頻濺射功率:300W/500W(可選)
載樣臺:?140mm
載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
保護氣體:Ar、N2等惰性氣體
進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計控制2路進(jìn)氣,每個流量為100SCCM
尺寸:500mm×560mm×660mm
整機尺寸:1300mm×660mm×1200mm
重量:160kg