在當(dāng)今及以后的光伏和半導(dǎo)體制造流程當(dāng)中，靶材無疑是重中之重的原材料，其質(zhì)量和純度對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的后續(xù)生產(chǎn)質(zhì)量起著關(guān)鍵性作用，而靶材與背板的結(jié)合強(qiáng)度是其中重要的一環(huán)，新國標(biāo)GB/T39163-2020 靶材與背板結(jié)合強(qiáng)度測(cè)試方法規(guī)定了靶材與背板的結(jié)合強(qiáng)度試驗(yàn)方法，該試驗(yàn)分為拉伸試驗(yàn)和剪切試驗(yàn)，方法如下
主要技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) JD3380
試驗(yàn)力KN 100
試驗(yàn)機(jī)精度 1級(jí)
試驗(yàn)力測(cè)力范圍 0.4%—99%F.S
試驗(yàn)力分辨率 1/300000全程不分檔，全程分辨率不變
試驗(yàn)速度 0-300mm/min
拉伸試驗(yàn)行程mm 650
試驗(yàn)寬度mm 400
位移分辨率mm 0.01
電源電壓 交流220V 50Hz
主機(jī)尺寸mm 780×650×1950mm
主機(jī)重量kg 400
