FRG-700/702 Pirani Inverted Magnetron Gauge
安捷倫 FRG-700 規(guī)為全量程規(guī)，在緊湊且經(jīng)濟(jì)的規(guī)管內(nèi)集成兩種測量技術(shù)，以測量從 5 x 10-9mbar 至大氣壓（3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓）的工作壓力和極限壓力。帶有一個對數(shù)模擬輸出信號的單一緊湊規(guī)管可大幅降低安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。其優(yōu)點在于降低成本并顯著降低對寶貴空間的要求。FRG-702 為 FRG-700 的全金屬型號，內(nèi)含金屬密封的真空密封穿導(dǎo)件。該規(guī)管可以在比 FRG-700（法蘭處 55℃）更高的溫度（法蘭處 150℃）下工作。
特性
- 兩種測量技術(shù)集于一臺緊湊、一體化、經(jīng)濟(jì)的封裝中
- 測量過程和極限壓力從 5 x 10-9 mbar 至大氣壓（3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓）
- 一體化、緊湊的規(guī)管帶有對數(shù)模擬輸出，可大幅降低安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性
- 適合監(jiān)控高真空壓力、蒸鍍和濺鍍系統(tǒng)的極限壓力，以及中高真空范圍內(nèi)的普通真空測量和控制
- 寬測量范圍，從 5 × 10-9 mbar 至大氣壓
- 燈絲不易毀壞
- 優(yōu)異的啟動性能
- 易于清潔
性能指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
| FRG-700/702 全量程復(fù)合規(guī) | ||||||
| 測量范圍 | 5 x 10-9 到 1000 mbar（3.8 x 10-9 到 760 Torr） | |||||
| 準(zhǔn)確度 | ± 30 % 讀數(shù)，典型值 | |||||
| 重復(fù)性 | ± 5% 讀數(shù)，典型值 | |||||
| 安裝方向 | 任意 | |||||
| 允許溫度（周圍環(huán)境） | 操作存儲 | 烘烤溫度* | （皮拉尼） | 燈絲溫度 | ||
| 5 到 55 °C | –40 到 + 65 °C | 150°C | 120 °C | |||
| 電源電壓 | 在規(guī)管處 | 脈動 | 能耗 | |||
| 15 到 30 VDC | ≤ 1 Vpp | ≤ 2 W | ||||
| 輸出信號（測量信號） | 電壓范圍 | 測量范圍 | ||||
| 0 到 10.5 V | 1.82 到 8.6 V | |||||
| 電壓與壓力關(guān)系 | 0.6 V/十進(jìn)制, 對數(shù)的 | |||||
| 錯誤信號 | < 0.5 V（無輸入），> 9.5 V（皮拉尼傳感器，燈絲斷裂） | |||||
| 最小負(fù)載阻抗 | 10 kΩ，短路保護(hù) | |||||
| 響應(yīng)時間 | < 10 ms（當(dāng)壓力大于 10-6 mbar 時），≈ 1000 ms（當(dāng)壓力等于 10-8 mbar 時） | |||||
| 識別規(guī)管 | 85 kΩ，參照常見供應(yīng) | |||||
| 狀態(tài) | 僅皮拉尼規(guī)模式 | 復(fù)合皮拉尼/冷陰極模式 | LED | |||
| 0 V（低） | 15 V到 30（高） | 綠色 LED 亮即表示高電壓開 | ||||
| 電氣連接 | FCC 68 應(yīng)用連接器，8芯，內(nèi)孔式配件 | |||||
| 傳感器電纜 | 8 芯加屏蔽 | |||||
| 電纜長度 | ≤ 50 m | |||||
| 工作電壓/電流 | ≤ 3.3 kV/≤ 500 A | |||||
| 暴露于真空中的材料 | SS，Al2O3，FPM75，Mo，Ni，Au，W | |||||
| 內(nèi)部體積 | ≈ 20 cm3 | |||||
| 重量 | DN 25 ISO-KF ≈ 700 g，DN 40 CF ≈ 980 g | |||||
| 標(biāo)準(zhǔn) | EN 61000-6-2，EN 61000-6-3，EN 61010-1 | |||||
外形圖
