微調(diào)放氣閥
安捷倫微調(diào)放氣閥包括可移動的活塞,其光學(xué)級平滑的藍寶石端面可與金屬密封墊可靠密封。這樣可以形成無摩擦、咬合和偏斜的密封。藍寶石的位移通過機械增益為 13000 比 1 的螺紋軸桿機構(gòu)控制。
特性
- 用于特種閥門應(yīng)用
- 范圍從大氣壓到低于 10-11 torr (mbar)
- 具有手動和氣動型號
- 在靈敏度 1 x 10-10 std cc/s 的氦質(zhì)譜檢漏儀上檢測不到泄漏
- 流導(dǎo) 6 l/m
- 可烘烤至 450° C