產(chǎn)品型號 D07-19F 產(chǎn)品類型 抗電磁干擾 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm 產(chǎn)品精度 ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) 重復精度 ±0.2% FS 線性 ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) 響應(yīng)時間 ≤4sec 工作溫度范圍 (5~45)°C 耐壓 3MPa 密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene 輸入輸出信號 (1~5)VDC,(4~20)mA 電源 24V 閥類型 常閉 溫度系數(shù) - 無 - 零點飄移指標 - 無 - 電氣連接 D sub 15 pins Male 工作壓差范圍 (0.1～0.3) MPa （10slm＜F.S.）,(0.1～0.5) MPa （F.S.≤10slm） 漏率 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） 標準接頭形式 雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 表面化學成分 - 無 - 表面粗糙度 - 無 - 抗電磁干擾 CE 重量 1.2Kg
