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WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
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  • 所在地深圳市
  • 更新時(shí)間2025-07-10
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
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深圳市中圖儀器科技有限公司是*和軟件企業(yè),致力于精密計(jì)量、檢測(cè)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支以清華大學(xué)、西安交大等高校的碩士畢業(yè)生為骨干的技術(shù)隊(duì)伍,在專業(yè)技術(shù)上擁有近二十年的技術(shù)積累和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),潛心進(jìn)行計(jì)量檢測(cè)技術(shù)的創(chuàng)新研究。

中圖儀器擁有約3000平方米的現(xiàn)代化科研辦公樓層,配備了*的科研設(shè)施和精密加工設(shè)備,建立了幾何量恒溫實(shí)驗(yàn)室、傳感器老化實(shí)驗(yàn)室和傳感器溫控實(shí)驗(yàn)室,按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)管理,為客戶提供質(zhì)量*的產(chǎn)品。中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及國(guó)內(nèi)三十多個(gè)省、市、自治區(qū),并與國(guó)內(nèi)許多企業(yè)、科研院所保持著*密切的合作關(guān)系。10多年來(lái),在精心研究長(zhǎng)度、熱工、水流量等專業(yè)計(jì)量檢測(cè)技術(shù)的基礎(chǔ)上,研發(fā)*的CCD圖像識(shí)別技術(shù),*設(shè)計(jì)制造SJ2000/3000系列指示表自動(dòng)檢定儀、SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)、SJ2200系列小角度檢定儀、SJ2300系列氣浮式垂直度檢定儀、SJ2400系列影像式線紋測(cè)量?jī)x、SJ200系列高度計(jì)、ZT5000/6000系列壓力自動(dòng)校驗(yàn)儀、ZT8000系列溫度自動(dòng)檢定系統(tǒng)、SW2000系列攝像式全自動(dòng)水表檢定裝置、ZT201系列全自動(dòng)在線檢測(cè)儀等*儀器設(shè)備,促進(jìn)了我國(guó)計(jì)量檢測(cè)裝備的技術(shù)進(jìn)步。目前,中圖儀器擁有數(shù)十種自主開(kāi)發(fā)的新技術(shù)產(chǎn)品,并具有多項(xiàng)技術(shù),廣泛應(yīng)用于政府計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、國(guó)防*、汽車、航空航天、冶金、機(jī)械、電力、石化等行業(yè)的實(shí)驗(yàn)室。中圖儀器的大多數(shù)產(chǎn)品達(dá)到水平,部分產(chǎn)品處于前列的位置,打破了檢定儀器一直以來(lái)被西方發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷的局面。中圖儀器參與了一些制定產(chǎn)品檢定國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的工作,為國(guó)家做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

中圖儀器的使命,就是專注于精密計(jì)量?jī)x器和自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備的創(chuàng)新發(fā)展,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體,用現(xiàn)代化的技術(shù)手段大幅提高檢測(cè)效率,力圖中國(guó)儀器的技術(shù)進(jìn)步。

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WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)
WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

  WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)可以在一個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中自動(dòng)測(cè)量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術(shù)測(cè)量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù),同時(shí)生成Mapping圖;采用白光干涉測(cè)量技術(shù)對(duì)Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時(shí)建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面的2D、3D參數(shù)。
  WD4000晶圓幾何形貌測(cè)量系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于Wafer制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
 

二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測(cè)量

◆ 集成厚度、測(cè)量模組和三維形貌測(cè)量模組,使用一臺(tái)機(jī)器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三維形貌的測(cè)量。
 

2、高精度厚度測(cè)量技術(shù)

◆  采用高分辨率光譜共焦對(duì)射技術(shù)對(duì)Wafer進(jìn)行高效掃描。
◆ 帶多點(diǎn)傳感器孔和靜電放電涂層的鋼制真空吸盤(pán), 晶圓規(guī)格可支持至 12寸。
◆ 采用點(diǎn)地圖技術(shù),可編程多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量。
 

3、高精度三維形貌測(cè)量技術(shù)

◆ 采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨力可到0.1nm;
◆ 隔振設(shè)計(jì)極大降低地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,獲得的測(cè)量重復(fù)性。
◆ 機(jī)器視覺(jué)技術(shù)檢測(cè)圖像Mark點(diǎn),虛擬夾具擺正樣品,可對(duì)多點(diǎn)形貌進(jìn)行自動(dòng)化連續(xù)測(cè)量。
 

4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺(tái)

◆ 大行程龍門結(jié)構(gòu)(400x400 x75mm),移動(dòng)速度500mm/s。
◆ 高精度花崗巖基座和橫梁,整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。
◆ 關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng),搭配分辨率0.1μm的光柵系
統(tǒng),保證設(shè)備的高精度、高效率。
 

5、操作簡(jiǎn)單、輕松無(wú)憂

◆ 集成XYZ三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前準(zhǔn)備工作。
◆ 雙重防撞設(shè)計(jì),避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測(cè)物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。
◆ 電動(dòng)物鏡切換讓觀察變得快速和簡(jiǎn)單。
 

三、應(yīng)用場(chǎng)景

無(wú)圖晶圓厚度、翹曲度的測(cè)量

晶圓厚度、翹曲度測(cè)量結(jié)果

  通過(guò)非接觸測(cè)量,將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建,強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。
 

無(wú)圖晶圓粗糙度測(cè)量

多文件分析細(xì)磨片25次測(cè)量數(shù)據(jù)

細(xì)磨片25次測(cè)量數(shù)據(jù)Sa曲線圖

  Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測(cè)量數(shù)值的穩(wěn)定性來(lái)反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測(cè)量的減薄硅片,細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測(cè)量數(shù)據(jù)計(jì)算重復(fù)性為0.046987nm,測(cè)量穩(wěn)定性良好。
 
 

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