一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CP200臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數(shù)的測(cè)量。測(cè)量時(shí)通過(guò)使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺(tái)移動(dòng)樣品時(shí)掃描其表面，測(cè)針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號(hào)并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點(diǎn)云信號(hào)，數(shù)據(jù)點(diǎn)云信號(hào)在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來(lái)獲取相應(yīng)的臺(tái)階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。
CP200臺(tái)階儀采用了高精度的傳感器LVDT，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，基于超滑光學(xué)平晶，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。
CP200臺(tái)階儀具備的應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀(guān)形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
二、產(chǎn)品功能
1. 參數(shù)測(cè)量功能
1） 臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
2） 粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn)，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù)。
3） 具備薄膜應(yīng)力測(cè)量功能。
2. 測(cè)量模式與分析功能
1） 單區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點(diǎn)和掃描長(zhǎng)度，即可開(kāi)始測(cè)量。
2） 多區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，可根據(jù)橫向和縱向距離來(lái)陣列形成不低于30個(gè)掃描路徑區(qū)域，一鍵即可完成所有區(qū)域掃描路徑的自動(dòng)測(cè)量，掃描分析次數(shù)15次。
3） 3D測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€(xiàn)條的間距與數(shù)量完成整個(gè)掃描面區(qū)域的設(shè)置，一鍵即可自動(dòng)完成整個(gè)掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。
4） SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類(lèi)被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。
3. 快速換針功能
采用了磁吸式測(cè)針，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí)，可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速自動(dòng)標(biāo)定，確保換針后的精度和重復(fù)性，減少維護(hù)煩惱。
4. 雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能
在CP200型號(hào)中配備了正視和斜視的500W像素的彩色相機(jī)，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實(shí)時(shí)跟進(jìn)掃描軌跡。
三、技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | CP200 | |
| 樣品觀(guān)察 | 正視導(dǎo)航 | 500萬(wàn)像素彩色攝像機(jī) 正視視野：10×13.4mm |
| 斜視導(dǎo)航 | 500萬(wàn)像素彩色攝像機(jī) 斜視視野：2×2.68mm | |
| 探針傳感器 | 高精度傳感器LVDT | |
| 測(cè)量力 | 1-50mg，連續(xù)可調(diào)，不破壞樣品 | |
| 探針選型 | 探針曲率半徑2μm，夾角60° | |
| 平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y | 電動(dòng)X/Y（200mm×200mm）（可手動(dòng)校平） | |
| 樣品R-θ載物臺(tái) | 電動(dòng)，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)，8英寸大小 | |
| 負(fù)載 | 14kg | |
| 單次掃描長(zhǎng)度 | 55mm | |
| 掃描長(zhǎng)度 | 200mm | |
| 樣品厚度 | 50mm | |
| Z軸行程 | 50mm | |
| 垂直分辨率 | 0.1nm | |
| 臺(tái)階高度重復(fù)性*1 | 0.38nm | |
| 傳感器量程 | 1050μm | |
| 掃描速度 | 2μm/s-10mm/s | |
| 掃描采樣點(diǎn)數(shù) | 120000 | |
| 儀器電源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W | |
| 使用環(huán)境 | 相對(duì)濕度：濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40% RH 溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃) 地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz） | |
注：*1 重復(fù)性數(shù)據(jù)均為配置了隔震臺(tái)后在符合VC-C的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)得，若不滿(mǎn)足該條件，則指標(biāo)下修一倍；
四、典型應(yīng)用
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