100噸連續(xù)真空熱壓燒結(jié)爐
KZTY-50-16
一、產(chǎn)品簡介
本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體帶材的連續(xù)釬焊熱處理燒結(jié)使用。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、結(jié)構(gòu)新穎、外形美觀:本設(shè)備爐體采用全不銹鋼啞光處理，一體化設(shè)計，結(jié)構(gòu)合理，外形美觀。設(shè)備水電集成化，可直接和用戶準(zhǔn)備好電源進(jìn)線和冷卻水即插即用。
2、采用立式正面?zhèn)炔块_門，操作簡單方便。
3、抽真空機(jī)組一體化設(shè)計外形簡潔美觀。
4、用途廣泛，即可在真空下燒結(jié)處理，也可在真空氣氛下燒結(jié)處理，還可以熱壓燒結(jié)或熱壓氣氛燒結(jié)，一機(jī)多用。
三、功能參數(shù)：
1、 電源：三相380V 50Hz；
2、 加熱功率：≤50Kw根據(jù)實際設(shè)計調(diào)整
3、 設(shè)備真空度能力：腔室采用304材質(zhì)雙層水冷高真空設(shè)計，腔室自身極限真空可達(dá)10-3pa以下（真空系統(tǒng)客戶自備） ，高真空設(shè)計預(yù)留進(jìn)出真空接管法蘭
4、 加熱方式：石墨加熱
5、 設(shè)計溫度：1600℃，工作溫度：≤1500℃
6、 工作區(qū)尺寸：300mm×300mm*100mm（長寬高）
7、 加壓臺面：200mm*200mm 腔體內(nèi)部壓力件采用等靜壓石墨材料
8、 工作區(qū)：一區(qū)
9、 控溫方式：熱電偶
10、 控溫精度：±1℃
11、 設(shè)備設(shè)計保溫隔熱屏，在隔熱區(qū)外，是水冷真空腔室，設(shè)置有水冷循環(huán)系統(tǒng)；
12、 能夠壓合寬100mm*厚5mm成卷連續(xù)銅帶材；
13、 工作氣氛：N2/Ar
14、 充氣壓力：≤0.03MPa
15、 壓機(jī)壓力：≤100T采用下頂式加壓，設(shè)備作業(yè)時，***壓力控制和壓合行程控制兩種控制方式可選
16、 壓頭行程：50-100mm
17、 設(shè)備內(nèi)部加熱元件有短路保護(hù)功能，配置快速熔斷器等保護(hù)器件，可實現(xiàn)負(fù)載短路迅速切斷主加熱電源。
18、 液壓加壓系統(tǒng)設(shè)計過壓過載保護(hù)，并在觸摸屏顯示并記錄保存
