生產(chǎn)廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業(yè)的生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)，一站式周到服務(wù)。作為一家專注于試驗(yàn)設(shè)備產(chǎn)品的大型儀器制造商，皓天設(shè)備致力于為消費(fèi)者提供技術(shù)、品質(zhì)的優(yōu)秀產(chǎn)品。
專為芯片、晶圓等半導(dǎo)體器件的環(huán)境可靠性測試設(shè)計(jì)，其核心系統(tǒng)針對半導(dǎo)體的精密特性優(yōu)化，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供精準(zhǔn)的溫濕度模擬環(huán)境。
工作原理
基于微環(huán)境精準(zhǔn)調(diào)控，試驗(yàn)室內(nèi)部形成垂直層流氣流，通過頂部高效過濾器實(shí)現(xiàn) ISO 5 級（Class 100）潔凈度。溫濕度傳感器以 10Hz 頻率采集數(shù)據(jù)，傳輸至 AI 自適應(yīng)控制系統(tǒng)，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)加熱、制冷與加濕模塊。當(dāng)測試程序啟動后，系統(tǒng)按預(yù)設(shè)曲線動態(tài)平衡能量輸出：低溫階段通過復(fù)疊式制冷系統(tǒng)維持穩(wěn)定低溫，高溫階段啟用分布式微加熱單元，加濕系統(tǒng)則根據(jù)濕度偏差釋放潔凈蒸汽，確保半導(dǎo)體器件處于設(shè)定的溫濕度環(huán)境中。
產(chǎn)品詳情方面，試驗(yàn)室采用不銹鋼無縫焊接內(nèi)膽，圓角設(shè)計(jì)避免微粒積聚，內(nèi)壁粗糙度 Ra≤0.8μm，便于清潔維護(hù)。配備獨(dú)立的潔凈風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，每小時(shí)換氣次數(shù)達(dá) 60 次以上，確保內(nèi)部潔凈度穩(wěn)定。測試區(qū)與操作區(qū)分隔，通過機(jī)械手或傳遞窗實(shí)現(xiàn)樣品轉(zhuǎn)運(yùn)，減少外部環(huán)境干擾，容積從 1m3 到 50m3 不等，可適配晶圓片、芯片封裝等不同尺寸的半導(dǎo)體產(chǎn)品。
技術(shù)參數(shù)表現(xiàn)，溫度范圍 - 70℃~150℃，控制精度 ±0.1℃，溫場均勻性≤±0.5℃；濕度控制精度 ±1.5% RH，波動度≤±1% RH。設(shè)備支持 1000 組測試程序存儲，每組可設(shè)置 1000 段溫濕度曲線，升溫速率 0.1~10℃/min、降溫速率 0.1~5℃/min 可調(diào)，滿足 JEDEC、AEC-Q100 等半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢顯著，相比通用試驗(yàn)室，其潔凈加濕系統(tǒng)杜絕微粒與離子污染，避免半導(dǎo)體器件因污染導(dǎo)致的測試失效；±0.1℃的溫度控制精度可精準(zhǔn)捕捉芯片的溫敏特性變化，測試數(shù)據(jù)重復(fù)性達(dá) 99.5%；配備半導(dǎo)體專用數(shù)據(jù)接口，可與探針臺、測試機(jī)聯(lián)動，實(shí)現(xiàn)電性能與環(huán)境參數(shù)的同步采集；采用低振動設(shè)計(jì)，設(shè)備運(yùn)行時(shí)振幅≤0.1μm，避免振動對精密半導(dǎo)體器件的影響。
