YAMATADENSO山下電裝表面缺陷檢測設(shè)備

YAMATADENSO山下電裝表面缺陷檢測設(shè)備

應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達(dá)成實(shí)時(shí)檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。

非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動(dòng)判定影像處理軟體、自動(dòng)化搬運(yùn)裝置、影像儲(chǔ)存、影像列印等功能。

即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。

光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)１光學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。

根據(jù)檢測內(nèi)容，可修正檢測靈敏度

用途

鏡面晶圓的表面檢測

滑線檢測

玻璃基板檢測

其他鏡面基板檢測

選配

電動(dòng)馬達(dá)檢測平移臺(tái)

自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置

影像列印機(jī)

搬運(yùn)裝置

檢測尺寸：從φ100mm至φ300mm

檢測內(nèi)容：平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等

檢測倍率：1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）

檢測靈敏度：檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整

使用光源：550nm　（固定照度之穩(wěn)定光源）

鏡頭：高解析度CCD鏡頭

平臺(tái)：手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）

產(chǎn)品外觀缺陷檢測：用于檢測產(chǎn)品的外觀缺陷，如長度、高度、直徑、混料、變形、缺料、毛刺、黑點(diǎn)、劃傷等1。

表面缺陷檢測：在電子、汽車、食品、醫(yī)藥等行業(yè)中，用于檢測產(chǎn)品表面的缺陷，如劃痕、污漬、裂紋、漆面不均、氣泡、凹陷、破損、變形等2。

顏色識(shí)別：通過顏色傳感器進(jìn)行顏色識(shí)別，確保產(chǎn)品顏色符合標(biāo)準(zhǔn)3。

定位功能：通過工業(yè)攝像頭獲取圖像坐標(biāo)信息，自動(dòng)判斷物體位置3。

微小規(guī)格精密檢測：利用高倍工業(yè)鏡頭或顯微鏡頭進(jìn)行微小物體的檢測，如生物細(xì)胞、細(xì)小裝配縫隙、小零部件等3。

非接觸式檢測：適用于高溫、高壓、流體、環(huán)境危險(xiǎn)等場合，避免對(duì)被測對(duì)象的損壞3。