| 峰谷精度 | ± 0.6 nm （λ / 1000） |
| 峰谷分辨率 | 0.05 nm（λ/ 12000） |
| 波前RMS重復(fù)性 | < 0.23="" nm（λ=""> |
| 單點(diǎn)RMS重復(fù)性 | < 0.06="" nm（λ=""> |
| 激光類型和波長(zhǎng) | He-Ne ，632.8 nm |
| 數(shù)值孔徑NA | 0.55（f＃0.91） |
| 數(shù)據(jù)采集 | 相移干涉技術(shù)（PSI） |
| 圖像縮放系統(tǒng) | 通過(guò)軟件界面控制4倍光學(xué)變焦 |
| 采集時(shí)間 | 10ms |
| 曝光時(shí)間 | 最小40μs |
| 光學(xué)聚焦范圍 | ±2m |
理想?yún)⒖迹簾o(wú)使用物理參考引入的傳播錯(cuò)誤
- 節(jié)省時(shí)間，無(wú)需更改大量物理參考
- 節(jié)省成本，無(wú)需購(gòu)買昂貴的參考套件
透射球面檢測(cè)精度比Fizeau干涉儀的檢測(cè)精度高100倍
- 節(jié)省時(shí)間和成本，不需要中間儀器或其他方法來(lái)提高準(zhǔn)確性
D7比其他干涉儀檢查更多的表面特征
- 在安裝和啟動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)之前能更好地揭示制造缺陷誤差，從而節(jié)省了成本
高穩(wěn)定性
- 節(jié)省時(shí)間，出色的重復(fù)性提供了高準(zhǔn)確性的結(jié)果
- 節(jié)省成本，檢測(cè)不需要特殊的環(huán)境條件
應(yīng)用范圍廣
- 結(jié)構(gòu)緊湊簡(jiǎn)單，不論下實(shí)驗(yàn)室或工廠使用都可以
無(wú)回程誤差
- 在測(cè)量非球面和自由曲面時(shí)，簡(jiǎn)化了設(shè)置，節(jié)省了時(shí)間和成本
測(cè)量方案
1.球形凹面：
2.球形凸面：
3.平面：
4.光學(xué)系統(tǒng)（波前質(zhì)量測(cè)試）：
光學(xué)測(cè)試與測(cè)量
光學(xué)測(cè)試和測(cè)量服務(wù)包括測(cè)試光學(xué)系統(tǒng)的凹面，凸面，直角立方體，平面，非球面，自由形式和透射波前的表面圖形，以及曲率半徑的測(cè)量
光學(xué)設(shè)計(jì)與制造
基于在高精度光學(xué)系統(tǒng)計(jì)算機(jī)建模方面的30多年經(jīng)驗(yàn)，我們建立了自己的合作伙伴關(guān)系，以設(shè)計(jì)和制造高質(zhì)量的光學(xué)器件。我們?cè)诠鈱W(xué)制造方面的長(zhǎng)期合作伙伴是KPU-韓國(guó)工業(yè)大學(xué)。
