X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x(SFT9300系列)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介 適用于手機(jī)零件等微小的電子部件等樣品,專(zhuān)門(mén)配備了微型準(zhǔn)直器(zui小15μm)和75W(50kV,1mA)高功率X射線管,滿足測(cè)量微小區(qū)域及高精度的需求。測(cè)量樣品的微小部時(shí)與以往的機(jī)種相比,得出相同準(zhǔn)確度的前提下大大縮短了測(cè)量時(shí)間。(SFT9300、SFT9350、SFT9355)
產(chǎn)品介紹:
SFT9300系列產(chǎn)品規(guī)格
型號(hào):SFT9300/SFT9350/SFT9355
儀器的特長(zhǎng):微小面積對(duì)應(yīng)型
可測(cè)量元素:原子序號(hào)22(Ti)~83(Bi)
X射線源:小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓:50kV管電流:1.5mABe窗
濾波器:一次濾波器:Mo-自動(dòng)切換
二次濾波器:Co-自動(dòng)切換
照射方式:上方垂直照射方式
檢測(cè)器:比例計(jì)數(shù)管
儀器校正:自動(dòng)校正
準(zhǔn)直器(標(biāo)準(zhǔn)配置):○型(三種)
□型(三種)
安全性能:樣品室門(mén)鎖,樣品防沖撞功能
樣品圖像對(duì)焦:有(激光對(duì)焦)
樣品觀察:CCD攝像頭+倍率光學(xué)器+鹵素?zé)粽彰?
焦點(diǎn)切換功能:3段切換9300:10/40/70mm
9350:10/25/40mm
應(yīng)用 單層、雙層、多成分合金薄膜、成分比同時(shí)測(cè)量、化學(xué)鎳
軟件 塊體FP法軟件、薄膜FP法軟件
測(cè)量功能:自動(dòng)測(cè)量、中心搜索、圖像識(shí)別處理
修正功能:基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
統(tǒng)計(jì)處理功能:MS-EXCEL®
報(bào)告制作功能:MS-WORD®