設計特點
? 熱式原理
? 一體化設計
? 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
? 響應時間不超過 2 秒鐘
? 操作壓力可達 20MPa
? 對安裝位置不敏感
? 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
? 無直管段要求
? 單電源供電
設計特點
· 熱式原理
· 一體化設計
· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
· 響應時間不超過 2 秒鐘
· 操作壓力可達 20MPa
· 對安裝位置不敏感
· 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
· 無直管段要求
· 單電源供電
技術參數(shù)
流量范圍 ：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具體請參考表一
響應時間 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 114 型）； ± 1.5% 滿量程（ 114 型）
再 現(xiàn) 性 ： ± 0.2% 滿量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%- 滿量程）
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃
zui大操作壓力 ： 3000PSIG （ 20MPa ），具體請參考表一
零點漂移：± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移： ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃
壓力漂移： 0.1%/atm （相對于 N 2 ）
安裝方向： 對位置不敏感
預熱時間： 10 分鐘
電氣連接： 卡式（ 20 針）或 D 型（ 9 針）
流量信號輸出：
0-5VDC （zui小負載電阻 2K Ω ）；
0-10VDC （zui小負載電阻 3K Ω ）；
1-5VDC （zui小負載電阻 2K Ω ）；
4-20mA （請參考下面的說明）；
對于流量信號輸出為 4-20mA 的負載電阻：
環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時： 0-450 Ω
環(huán)路電壓為 15-30VDC 時： 200-750Ω
供應電源 ：
電壓輸出：＋ 12（ ± 5 ％ ） （僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出）或 +15（ ± 10 ％ ）VDC
電流輸出：＋ 15（ ± 5 ％ ） 或 +24（ ± 15 ％ ）VDC
電流消耗：＜ 45mAdc
重 量 ：請參考表一
結構材質
主 體： 316SS
傳感器組件 ： 316LSS
密封材質（” O ”型環(huán)）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton?
過程連接： 316SS
· 熱式原理
· 一體化設計
· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
· 響應時間不超過 2 秒鐘
· 操作壓力可達 20MPa
· 對安裝位置不敏感
· 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體
· 無直管段要求
· 單電源供電
技術參數(shù)
流量范圍 ：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具體請參考表一
響應時間 ： 1 ～ 2 秒
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 114 型）； ± 1.5% 滿量程（ 114 型）
再 現(xiàn) 性 ： ± 0.2% 滿量程
量 程 比 ： 50:1 （ 2%- 滿量程）
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃
zui大操作壓力 ： 3000PSIG （ 20MPa ），具體請參考表一
零點漂移：± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移： ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃
壓力漂移： 0.1%/atm （相對于 N 2 ）
安裝方向： 對位置不敏感
預熱時間： 10 分鐘
電氣連接： 卡式（ 20 針）或 D 型（ 9 針）
流量信號輸出：
0-5VDC （zui小負載電阻 2K Ω ）；
0-10VDC （zui小負載電阻 3K Ω ）；
1-5VDC （zui小負載電阻 2K Ω ）；
4-20mA （請參考下面的說明）；
對于流量信號輸出為 4-20mA 的負載電阻：
環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時： 0-450 Ω
環(huán)路電壓為 15-30VDC 時： 200-750Ω
供應電源 ：
電壓輸出：＋ 12（ ± 5 ％ ） （僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出）或 +15（ ± 10 ％ ）VDC
電流輸出：＋ 15（ ± 5 ％ ） 或 +24（ ± 15 ％ ）VDC
電流消耗：＜ 45mAdc
重 量 ：請參考表一
結構材質
主 體： 316SS
傳感器組件 ： 316LSS
密封材質（” O ”型環(huán)）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton?
過程連接： 316SS
