德國SENTECH公司PECVD 氣相沉積系統(tǒng)---上海/蘇州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州
SENTECH儀器（德國）有限公司研發(fā)、制造和銷售*的薄膜測量儀器（光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀）、光伏測量儀器（在線和離線測量工具）和等離子工藝設(shè)備（等離子刻蝕機、等離子沉積系統(tǒng)、原子層沉積系統(tǒng)、用戶定制多腔系統(tǒng)）。
儀器廣泛應(yīng)用于微電子、光電、納米技術(shù)、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學(xué)、生命科學(xué)、等研發(fā)領(lǐng)域。
NOVTEC寓意“科技創(chuàng)新”，即諾威特測控科技有限公司，在德國、日本設(shè)有代表處，多年來致力于將的高科技產(chǎn)品帶給中國及亞洲的廣大用戶，并為客戶提供完善的售后服務(wù)，協(xié)助他們提高生產(chǎn)技術(shù)水平、競爭力及增加盈利，專業(yè)從事工業(yè)測量與測試產(chǎn)品的銷售與研發(fā)，擁有產(chǎn)品研發(fā)中心、研究院和生產(chǎn)工廠，技術(shù)力量雄厚。
產(chǎn)品簡介
SI500D突出優(yōu)點是采用平板三螺旋天線PTSA電感耦合等離子體ICP源和背部有氧氣冷卻系統(tǒng)的下電極，zui大樣片直徑8吋。ICPECVD感應(yīng)耦合等離子增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)SI500D滿足工藝要求，適用于器材的生產(chǎn)和研發(fā)應(yīng)用。SI500D在基于硅烷的沉積工藝中具有出色的性能。
SI500PPD是標(biāo)準(zhǔn)的PECVD系統(tǒng)，配置帶干泵的預(yù)真空室，真空反應(yīng)腔配置羅茨泵和渦輪分子泵。
Depolad200是經(jīng)濟型的PECVD系統(tǒng)，具有模塊化設(shè)計、工藝靈活和操作簡便的特點，樣片直接放置?？讨鸩竭M行真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)的升級，以滿足更高的工藝要求。
型號
SI500D | ICPECVD沉積系統(tǒng) | 室溫~350℃ |
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SI500PPD | PECVD沉積系統(tǒng) | 帶預(yù)真空室 | 200℃~350℃ |
Depolab200 | PECVD沉積系統(tǒng) | 不帶預(yù)真空室 | 200℃~400℃ |
具體型號及技術(shù)要求咨詢。
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諾威特測控科技有限公司
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