Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計(jì))
真空測量解決方案
Granville-Phillips的Micro-lon ATM模塊復(fù)合了經(jīng)標(biāo)定的Micro-lon電離規(guī)技術(shù)和微型Conductron熱損失傳感技術(shù)和兩個壓阻薄膜傳感器于一體，從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續(xù)的壓力測量。
GP 390型真空計(jì)運(yùn)用薄膜傳感器技術(shù)，該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對壓力指示。GP 390型真空計(jì)*的傳感器設(shè)計(jì)消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應(yīng)。 GP 390型真空計(jì)這種小型的模塊復(fù)合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個緊湊的一體化設(shè)計(jì)中，減少了腔室真空規(guī)管的需求數(shù)量并zui小化所占空間。全量程壓力測量可以通過單一模擬量信號或可選的串行RS-485或DeviceNet數(shù)字協(xié)議輸出。GP 390型真空計(jì)RS-485和DeviceNet版本產(chǎn)品可以zui多選擇三個設(shè)定點(diǎn)繼電器用于工藝控制，可以在真空壓力測量范圍內(nèi)設(shè)定任意壓力值或者相對壓力值。
GP 390型真空計(jì)復(fù)合規(guī)管技術(shù)
以往，在寬量程范圍內(nèi)要進(jìn)行精確測量需要對個傳感器，多個真空系統(tǒng)接口，以及相關(guān)電纜及電子器件。Granville-Phillips的Micro-lon ATM模塊（GP 390型真空計(jì)）合并多傳感器于一個微機(jī)控制設(shè)計(jì)中，減少了整體購置成本，同時提高真空測量性能。
Granville-Phillips將20多年成功的規(guī)管設(shè)計(jì)以及現(xiàn)場裝機(jī)經(jīng)驗(yàn)運(yùn)用到了生產(chǎn)新的真空測量標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品Micro-lon ATM模塊（GP 390型真空計(jì)）中。量程寬、高性能、及緊湊型設(shè)計(jì)的Micro-lon ATM（GP 390型真空計(jì)）是您進(jìn)行高真空系統(tǒng)壓力測量的明智之選。
GP 390型真空計(jì)內(nèi)部截面
GP 390型真空計(jì)特點(diǎn)與優(yōu)勢：
寬量程范圍：提供從10-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續(xù)測量。
高性能：經(jīng)過驗(yàn)證的Micro-lon雙燈絲電離規(guī)技術(shù)，獲的熱損失傳感器，以及精準(zhǔn)的薄膜技術(shù)消除了熱損失傳感器的熱影響，增強(qiáng)了高壓力的測量性能。
自動控制：完整集成的傳感器自動控制激活和斷開電離規(guī)，因此簡化了規(guī)管操作。設(shè)定點(diǎn)的產(chǎn)品中，觸點(diǎn)繼電器可用來控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點(diǎn)會存于非易失性存儲器中。
緊湊設(shè)計(jì)：一個Micro-lon規(guī)管，一個熱損失傳感器連同一個大氣薄膜規(guī)、一個絕壓薄膜規(guī)，和控制器件全部集成在一個緊湊的模塊包中。
RS-485接口：允許模塊和主機(jī)之間進(jìn)行通訊，并可使用可選的RS-485模塊配置進(jìn)行通訊。
DeviceNet接口：可提供高速壓力測量讀數(shù)及簡單的規(guī)管配置參數(shù)的獲取。
可選的過程控制繼電器：zui多可用三個設(shè)定
GP 390型真空計(jì)傳感器開關(guān)點(diǎn)
點(diǎn)控制繼電器從而簡化工藝控制功能。設(shè)定點(diǎn)可以通過RS-485接口來配置。
現(xiàn)場可更換的規(guī)管組件：規(guī)管組件可以在模塊從真空系統(tǒng)上取下后僅僅使用螺絲刀就能實(shí)現(xiàn)快速簡單的更換。
GP 390型真空計(jì)技術(shù)規(guī)格
測量范圍（對于空氣或N2）（注釋1、2、3） | |
Torr | 1x10-9到大氣壓 |
Mbar | 1.33x10-9到大氣壓 |
Pa | 1.33x10-7到大氣壓 |
X射線極限（注釋4） | |
Torr | <3x10-10 |
Mbar | <4x10-10 |
Pa | <4x10-8 |
基于環(huán)境壓力的相對壓力測量范圍 | |
Torr | -750到+250 |
Mbar | -999到333 |
KPa | -99.9到33.3 |
精度（對于空氣或N2的絕壓）（注釋5） | |
Torr | 1x10-6到100mTorr：+/-15%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-10%讀數(shù)；150到1000：+/-2.5%讀數(shù) |
Mbar | 1.33x10-6到0.133：+/-15%讀數(shù)；0.133到200：+/-10%讀數(shù)；200到1333：+/-2.5%讀數(shù) |
Pa | 1.33x10-6到13.3：+/-15%讀數(shù)；13.3到2x104：+/-10%讀數(shù)；2x104到1.33x105：+/-2.5%讀數(shù) |
重復(fù)性（對于空氣或N2的絕壓）（注釋6） | |
Torr | 1x10-6到100mTorr：+/-5%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-2.5%讀數(shù)；150到1000：+/-1.0%讀數(shù) |
Mbar | 1.33x10-6到0.133：+/-5%讀數(shù)；0.133到200：+/-2.5%讀數(shù)；200到1333：+/-1.0%讀數(shù) |
Pa | 1.33x10-6到13.3：+/-5%讀數(shù)；13.3到2x104：+/-2.5%讀數(shù)；2x104到1.33x105：+/-1.0%讀數(shù) |
精度（相對壓力） | +/-（2.5Torr+2.5%讀數(shù)）；+/-（3.3mbar+2.5%讀數(shù)）；+/-（0.33KPa+2.5%讀數(shù)） |
響應(yīng)時間 | <25毫秒 |
模擬量輸出 | |
壓力 | 對數(shù)，0.5到7.0VDC，0.5V/數(shù)量級 |
相對壓力 | 線性，1-5VDC，-750到+250Torr（-1000到+333mbar；-100到+33KPa） |
RS-485串口 | |
數(shù)字通訊口 | 2線，半雙工 |
通訊格式 | ASCII，無奇偶校驗(yàn)位，1位停止位 |
波特率 | 1200,2400,4800,9600,19200（默認(rèn)），38400 |
地址 | 0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇或通過RS-485命令 |
DeviceNet網(wǎng)絡(luò)接口 | |
通訊類型 | 輪詢I/O和顯示傳送 |
通訊格式 | BOOL，BYTE，STRUCT，SSTRING，REAL，INT，UINT，USINT，EPATH和WORD數(shù)據(jù) |
波特率 | 125,250或500千波，開關(guān)選擇 |
地址 | 0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇 |
工作溫度 | 10-400C（50-1040F）不結(jié)露 |
存放溫度 | -40-+700C（-40-+1580F）不結(jié)露 |
烘烤溫度 | zui高1050C（2210F），移除電子器件 |
電離規(guī)發(fā)射電流 | 自動量程切換 |
電離規(guī)自動控制設(shè)定（默認(rèn)） | |
電離規(guī)啟動 | 2x10-2Torr；2.66x10-2mbar，2.66Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
電離規(guī)停止 | 3x10-2Torr；3.99x10-2mbar，3.99Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
切換至高發(fā)射 | 5x10-6Torr；6.66x10-6mbar，6.66x10-4Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
切換至低發(fā)射 | 1x10-5Torr；1.33x10-5mbar，1.33x10-3Pa，隨壓力上升關(guān)閉 |
電離規(guī)除氣 | 電子轟擊；每個燈絲3W一分鐘 |
電離規(guī)燈絲 | 鎢絲或鍍氧化釔的銥絲 |
燈絲操作（注釋7） | 交替（氧化釔燈絲的默認(rèn)模式），自動，手動（鎢絲的默認(rèn)模式） |
熱損失傳感絲 | 鍍金鎢 |
規(guī)管容積 | 10.8cm3（0.65in3） |
LED指示 | 模塊狀態(tài) |
I/O連接 | RS-485/模擬量：15針D型插針接頭，DeviceNet：5針微型接頭 |
zui大沖擊電流 | RS-485/模擬量：2A 48W 0.5秒，DeviceNet：0.25A |
供電要求 | RS-485/模擬量：24VDC+10%到-15%，1A 22W額定；DeviceNet：24VDC(11到26.4VDC)額定0.2A |
CE認(rèn)證 | |
EMC電磁兼容指令 | 89/3361/EEC；EN50081-2，EN50082-2，EN1326-1 |
低壓指令 | 73/23/EEC；EN61010-1 |
顯示選項(xiàng) | 圖形液晶 |
繼電器設(shè)定點(diǎn)選項(xiàng) | 僅RS-485或DeviceNet：2SPDT(NO/NC)或3SPST(NO)，每個設(shè)定點(diǎn)都可以獨(dú)立分配給絕壓或相對壓力測量 |
繼電器觸點(diǎn)額定值 | |
zui大 | 1A 30VDC阻抗 |
zui小 | 5mA 5VDC阻抗 |
重量 | 728.5g（25.7oz）（2.75CF法蘭） |
外殼材料 | 壓鋁粉末噴涂 |
暴露于真空下的材質(zhì) | 304不銹鋼，鉭，鎢，銥絲鍍氧化釔，氧化鋁，銀銅焊料，可伐，可伐鍍金或鍍鎳，硅酸硼玻璃 |
GP 390型真空計(jì)注釋：
測量結(jié)果會隨不同氣體和混合情況而改變。
Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測量。
大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時環(huán)境壓力。
X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測量。
精度（規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異）是通過數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。
重復(fù)性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。
在交替模式下模塊將交替激活電離規(guī)燈絲。在自動模式下燈絲1會先工作直至它不能工作為止，然后模塊自動切換到燈絲2工作。在手動模式下模塊會按照自動模式的操作方式讓燈絲工作，除非手動干預(yù)要求激活燈絲2。
GP 390型真空計(jì)尺寸
