晶圓芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高溫烘箱
VOD-90
一、產(chǎn)品名稱及型號：
1.1產(chǎn)品名稱：真空高溫干燥箱
1.2產(chǎn)品型號：VOD-90
二、主要技術(shù)指標：
2.1 電源：AC380V 3φ 50HZ
2.2 規(guī)格尺寸，功率：
型號 | 工作尺寸（mm） | 外形尺寸（mm） | 功率 |
VOD-90 | W450×D450×H450 | W800×D800×H1715 | 12Kw |
2.3 升溫、降溫速率要求:
大升溫速率: ≥4 ℃/minute
小升溫速率: 2 ℃/minute
小降溫速率: 2 ℃/minute
大降溫速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
常用溫度: 350℃
高溫度：450℃
三、箱體結(jié)構(gòu)：
外壁材料： 冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷;
內(nèi)膽材料： 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光;
保溫材料：厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好;
門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
四、真空度：
真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
真空度: ≤10 pa;
五、加熱系統(tǒng)：
加熱元件：四面輻射加熱;
六、電器系統(tǒng)：
系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；
溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器
七、安全保護：
加熱電流過流、
系統(tǒng)短路保護;
電壓過壓保護;
真空泵過負載、
缺相保護;
電爐超溫報警等功能。
晶圓芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高溫烘箱
