Kosaka ET150臺(tái)階儀
株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，也是日本*家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為代表性單位且在日本精密測(cè)定也占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET150配備了各種型號(hào)探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
二次元表面解析，可測(cè)量段差
高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等
低測(cè)定力，可測(cè)定軟質(zhì)材料
主要應(yīng)用---膜厚測(cè)量
制程機(jī)臺(tái)（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | ET150 | |
zui大樣品尺寸 | φ160x48mm | |
樣品臺(tái) | 尺寸 | φ160 |
傾斜度 | ±2°（X,Y手動(dòng)） | |
承重 | 2Kg | |
檢出器 | 觸針力 | 10μN(yùn)-500μN(yùn)（1mg-50mg） |
范圍 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
驅(qū)動(dòng) | 直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器） | |
觸針 | R2μm 頂角60° | |
X軸 | zui大測(cè)長(zhǎng) | 100mm |
直線度 | 0.02μm/100mm | |
速度 | 0.005-20mm/s | |
重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |
Y軸 | zui大測(cè)長(zhǎng) | 25mm/手動(dòng) |
Z軸 | zui大測(cè)長(zhǎng) | 50mm |
放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 |
水平 | 1-10000 | |
監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/3 inch CCD |
監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |
移動(dòng)方法 | 手動(dòng) | |
輔助功能 | 教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等 | |
應(yīng)用 | 成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |
重復(fù)性 | 1σ1nm | |
電源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
外觀尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺(tái)） | |
