■ 產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
??3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動結(jié)構(gòu);
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
■ 產(chǎn)品描述
Z向 PFC**-080U(直驅(qū)型)是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺,掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),確保了掃描臺的運(yùn)動精度。掃描臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。分立的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。壓電物鏡定位器是為了滿足快速響應(yīng)、大負(fù)載、大孔徑物鏡應(yīng)用需求而設(shè)計(jì)的,可以與目前市面上多種高分辨率顯微鏡配合,大剛度設(shè)計(jì)確保負(fù)載力達(dá)500g,快速穩(wěn)定,掃描頻率高。
■ 產(chǎn)品選型
①物鏡側(cè)螺紋直徑(目標(biāo)適配器【選配】)
標(biāo)識Identification | 型號Model | 描述Note |
5 | M25 X 0.75 | 目標(biāo)適配器 |
X | M26 X 1/36" | 目標(biāo)適配器 |
6 | M26 X 0.75 | 目標(biāo)適配器 |
7 | M27 X 0.75 | 目標(biāo)適配器 |
8 | W0.8X1/36" | 目標(biāo)適配器 |
②裝配環(huán)(顯微鏡適配器【選配】)
標(biāo)識Identification | 型號Model | 描述Note |
5 | M25 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
X | M26 X 1/36" | 顯微鏡適配器 |
6 | M26 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
7 | M27 X 0.75 | 顯微鏡適配器 |
8 | W0.8X1/36" | 顯微鏡適配器 |
※除上述型號外的螺紋尺寸,請!
③內(nèi)置位移傳感器
* | 空白blank | 無位移傳感器(開環(huán)Open loop) |
S | 應(yīng)變計(jì)傳感器SG Sensor (閉環(huán)Closed loop) |