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上海伯東Pfeiffer檢漏儀PECVD檢漏-氦質(zhì)譜檢漏儀

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位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,, 是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊(cè)資金為200萬(wàn)美元,到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)(上海)有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部()專(zhuān)業(yè)銷(xiāo)售及維修德國(guó)Pfeiffer單雙級(jí)旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管);檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)工程師,多年來(lái)致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專(zhuān)業(yè)技能和服務(wù)意識(shí),并獲得原廠*維修資質(zhì)證書(shū)。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做*性能測(cè)試。另外公司還代理美國(guó)Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,HVA 高真空閥門(mén)。公司一直堅(jiān)持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則,為廣大客戶(hù)提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過(guò)了美國(guó)UL安全認(rèn)證、ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開(kāi)拓進(jìn)取的精神,為滿(mǎn)足客戶(hù)的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

為將國(guó)外的高科技產(chǎn)品與中國(guó)經(jīng)濟(jì)和社會(huì)的飛速發(fā)展緊密結(jié)合,為促進(jìn)國(guó)內(nèi).貿(mào)易的快速發(fā)展,伯東企業(yè)(上海)有限公司,以高科技推動(dòng)現(xiàn)代化,以高質(zhì)量服務(wù)全中國(guó), 堅(jiān)持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專(zhuān)業(yè)代理公司,代理上公司的 半導(dǎo)體設(shè)備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創(chuàng)新.求真.發(fā)展的基本原則, 精心構(gòu)建誠(chéng)信、互動(dòng)、共贏的價(jià)值體系, 為所有的客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品, 同時(shí),提供全伯東集團(tuán)網(wǎng)絡(luò)支持下的較早.Z快的信息與Z及時(shí)周到的服務(wù),伯東公司愿意與世界各地的客戶(hù)聯(lián)手合作,共建一個(gè)誠(chéng)信.發(fā)展.共同進(jìn)步的良好環(huán)境.

 

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上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 多功能多用途氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 成功應(yīng)用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。
PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化
上海伯東Pfeiffer檢漏儀PECVD檢漏-氦質(zhì)譜檢漏儀 產(chǎn)品詳情

氦質(zhì)譜檢漏儀 PECVD 檢漏
上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 多功能多用途氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 成功應(yīng)用于中科院某研究所 PECVD 檢漏。

PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法 )是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),因而這種 CVD 稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD)。

PECVD 檢漏原因PECVD 工作環(huán)境需要兩個(gè)必要條件:低溫和真空??梢酝ㄟ^(guò)上海伯東德國(guó) Pfeiffer 機(jī)械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 聯(lián)用獲得穩(wěn)定的高真空。由于 PECVD 結(jié)構(gòu)復(fù)雜,組成部分較多,各組件通過(guò)各種法蘭接口連接,當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行時(shí)可能造成接口或管路松動(dòng),導(dǎo)致真空度抽不下來(lái),影響沉積薄膜的質(zhì)量,這時(shí)就需要通過(guò)檢漏來(lái)排查漏點(diǎn)。常規(guī)的檢漏如涂肥皂水等方法,耗時(shí)耗力且精度低,容易受操作人員干擾,所以利用氦質(zhì)譜檢漏儀的排查方法越來(lái)越廣泛使用。

PECVD 檢漏方法:采用檢漏儀的真空法進(jìn)行檢漏,對(duì)懷疑有漏的地方噴氦氣,如果檢漏儀報(bào)警,則表明此處有漏!上海伯東客戶(hù)中科院某研究所目前現(xiàn)有多臺(tái)舊款 Adixen ASM 142 檢漏儀,因?yàn)樵O(shè)備增加,在經(jīng)過(guò)工程師*后采購(gòu)檢漏儀 ASM 340。
* 鑒于信息保密,更詳細(xì)的 PECVD 檢漏方法,歡迎:

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