上半年陜西省屬企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)平穩(wěn)有序
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測(cè)量范圍:測(cè)量范圍為 5×10?1?mbar 至大氣壓(3.8×10?1?Torr 至大氣壓),能滿足多種真空環(huán)境下的測(cè)量需求。
工作原理:將 Bayard - Alpert 和皮拉尼兩種真空計(jì)的功能融合入單個(gè)緊湊型裝置中,結(jié)合了熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)的原理。熱傳導(dǎo)真空計(jì)基于氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理,通過測(cè)量加熱絲的溫度變化間接測(cè)量真空度;電離真空計(jì)則是利用氣體電離產(chǎn)生離子流與氣體壓力相關(guān)的原理,通過測(cè)量離子流的強(qiáng)度確定真空度。
產(chǎn)品特點(diǎn):具有體積小、功能集成度高的特點(diǎn),將兩種真空計(jì)功能整合,可降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性。
應(yīng)用領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于電子行業(yè),如半導(dǎo)體芯片制造、電子管生產(chǎn)等,可確保材料沉積、光刻等工藝在合適真空條件下進(jìn)行;也可用于航天領(lǐng)域,檢測(cè)飛行器內(nèi)部真空系統(tǒng);還能用于材料科學(xué)研究,如真空熔煉、真空鍍膜等工藝中監(jiān)測(cè)真空度;另外,在真空包裝行業(yè)也有應(yīng)用,可確保食品、藥品等包裝內(nèi)達(dá)到規(guī)定真空度。
配套使用:可與單通道控制器 VGC401、雙通道控制器 VGC402 和三通道控制器 VGC403 等配合使用,在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi),測(cè)量訊號(hào)輸出為對(duì)數(shù)壓強(qiáng)訊號(hào)。