【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】目前，由江蘇省納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(JS/TC53)歸口并組織起草的地方標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目《微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測(cè)方法》已進(jìn)入征求意見階段，現(xiàn)公開廣泛征集意見(截止日期：2023年5月31日)，請(qǐng)?zhí)顚懴路秸髑笠庖姳恚l(fā)送郵件至fangdan@szjl.com.cn。主要起草單位為蘇州市計(jì)量測(cè)試院、蘇州慧聞納米科技有限公司等。
 

　　標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容包括：一、適用范圍；二、規(guī)范性引用文件；三、術(shù)語和定義；四、檢測(cè)條件；五、檢測(cè)項(xiàng)目和檢測(cè)方法。
 

　　本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器的性能檢測(cè)方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用的微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器可檢測(cè)氣體種類包括又不僅限于甲烷、一氧化碳、硫化氫、氮氧化物等無機(jī)氣體，以及烷烴、醇、醚、酯、酸、苯系物等揮發(fā)性有機(jī)氣體。
 

　　隨著人們對(duì)安全防控、環(huán)境監(jiān)測(cè)、健康管理越來越重視，氣體傳感器已成為生產(chǎn)和生活不可或缺的一部分。半導(dǎo)體式氣體傳感器是研究最早、應(yīng)用最廣的一種氣體傳感器。基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)工藝的半導(dǎo)體氣體傳感器技術(shù)是目前半導(dǎo)體氣體傳感器發(fā)展的趨勢(shì)，它不僅僅繼承了傳統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器高靈敏度、低成本、敏感材料多樣性的優(yōu)勢(shì)，還通過MEMS工藝技術(shù)大大減小了傳感器的體積、功耗，可以更好地適用于小型化和微型化器件的大規(guī)模生產(chǎn)，能夠有效提升傳感器的實(shí)用性。而且，借助于MEMS技術(shù)可以集成多個(gè)不同的傳感器組成傳感器陣列，結(jié)合算法進(jìn)行擬合分析，可以改善器件整體的選擇性，克服了單個(gè)半導(dǎo)體傳感器選擇性差，不能用于混合氣體檢測(cè)的缺點(diǎn)。
 

　　基于其優(yōu)點(diǎn)，MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)也逐漸顯露。目前應(yīng)用較多的為智能家電，如集成在燃?xì)鉄崴鳌⒖諝鈨艋?、空調(diào)等家用電器中，用于家居環(huán)境中各種氣體的監(jiān)測(cè)；還有應(yīng)用于“電子鼻”中，用于泄漏監(jiān)測(cè)、臭味或異味監(jiān)測(cè)；另外，隨著健康管理的觀念逐漸深入人心，通過監(jiān)測(cè)人體呼出氣體的特定成分來反映或預(yù)警人體的健康狀態(tài)近幾年深受研究學(xué)者和體外診斷醫(yī)療企業(yè)的青睞，MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器在這方面的應(yīng)用潛力巨大。
 

　　江蘇省是全國(guó)MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)基地之一，聚集了大量MEMS智能傳感器研究、生產(chǎn)、應(yīng)用企業(yè)，MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器企業(yè)也融入其中。隨著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器應(yīng)用的增多，產(chǎn)品的檢測(cè)需求也隨之增多。然而，國(guó)內(nèi)外卻沒有針對(duì)MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的檢測(cè)方法，本項(xiàng)目在于研究制定MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的檢測(cè)方法，形成統(tǒng)一的、具有普遍適用性的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，促進(jìn)提升MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器的產(chǎn)品質(zhì)量，突出產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，提高產(chǎn)品市場(chǎng)認(rèn)可度，促進(jìn)行業(yè)健康快速發(fā)展。