【儀表網(wǎng) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)】近日，由廈門(mén)荷清教育咨詢(xún)有限公司 、廈門(mén)大學(xué)等單位起草，TC38(全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì))歸口的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃《表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》征求意見(jiàn)稿已編制完成，現(xiàn)公開(kāi)征求意見(jiàn)。
 

　　全球有多家廠商生產(chǎn)俄歇電子能譜儀(AES)和掃描俄歇電子顯微鏡(SAM)。盡管每臺(tái)儀器的 AES 分析方法的基本原理是相同的，但儀器的具體設(shè)計(jì)和性能說(shuō)明的方式各不相同。因此，通常很難比較不同廠商生產(chǎn)的儀器性能。本文件提供一個(gè)基本項(xiàng)目單，以使所有俄歇電子能譜儀能以共同的方式來(lái)表述。本文件無(wú)意取代廠商的說(shuō)明書(shū)，廠商的說(shuō)明書(shū)可以長(zhǎng)達(dá) 30 頁(yè)或更多。本文件目的是使廠商說(shuō)明書(shū)中確定的某些項(xiàng)目具有一致和明確的含義。
 

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。
 

　　本文件代替GB/T 25187—2010《表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》，與GB/T 25187—2010相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：
 

　　a) 更改了術(shù)語(yǔ)和定義(見(jiàn)第3章，2010年版的第3章)；
 

　　b) “空間分辨”更改為“橫向分辨”(見(jiàn)5.5，2010版的5.5)。
 

　　本文件給出了表述俄歇電子能譜儀特定性能參數(shù)的要求。
 

　　橫向分辨和束流
 

　　方法 1
 

　　應(yīng)分析的樣品有一個(gè)小于儀器標(biāo)稱(chēng)的橫向分辨的 30%的特貌區(qū)。該區(qū)的特征俄歇電子信號(hào)掃描線的 FWHM 定義為橫向分辨。特征信號(hào)從最大值的 50%升至 100%再降至 50%的兩點(diǎn)間距離規(guī)定為橫向分辨。
 

　　方法 2
 

　　應(yīng)分析樣品由兩種材料組成，其表面在同一平面上且沿一公共直邊相連結(jié)。當(dāng)與該公共直邊成 90°角方向測(cè)量時(shí)，這兩種材料之一的特征俄歇電子強(qiáng)度的譜線被用于定義橫向分辨。在遠(yuǎn)離公共直邊的平臺(tái)區(qū)俄歇電子強(qiáng)度之差從 20%變化到 80%的兩點(diǎn)間距離定義為該掃描方向上的橫向分辨。
 

　　方法 3
 

　　待分析的樣品具有某一材料的刃邊，該刃邊在樣品平面上覆蓋住一個(gè)深度超過(guò)其直徑 5 倍的小孔的半邊。與刃邊成 90°角方向測(cè)量時(shí)，刃邊材料的特征俄歇電子強(qiáng)度的掃描線用以定義橫向分辨。在離開(kāi)刃邊的平臺(tái)區(qū)的俄歇電子強(qiáng)度差值從 20%變化到 80%的兩點(diǎn)間距離定義為該掃描方向上的橫向分辨。
 

　　譜儀強(qiáng)度性能和能量分辨
 

　　方法 1
 

　　噪聲定義為對(duì) 970eV 和 994eV 間等能量間隔進(jìn)行 121 次獨(dú)立測(cè)量所得本底強(qiáng)度值的rms 偏差，每道測(cè)量收譜時(shí)間為 1 s，通道間隔約為 0.2 eV。rms 偏差是測(cè)量強(qiáng)度與其最小二乘法擬合直線的離差計(jì)算得到的。
 

　　方法 2
 

　　噪聲定義為 975 eV 處 121 個(gè)樣品的本底強(qiáng)度與其均值離差的 rms 偏差，其每次測(cè)量數(shù)據(jù)收集時(shí)間為 1 s。
 

　　更多詳情內(nèi)容請(qǐng)見(jiàn)附件。