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INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空機，在苛刻的生產環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能，數(shù)字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調零功能和設點調整，抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。傳感器屏敝保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結構和數(shù)字電子學加強了EMC兼容性，長期穩(wěn)定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準。

優(yōu) 點

◆ 全刻度范圍從100毫乇…1000乇

◆ 電源接通后的快速穩(wěn)定性

◆ 暴露大氣壓后的快速恢復性

◆ 抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測器

◆ 的長期訊號穩(wěn)定性

◆ 溫度補償

◆ 保護傳感器防止污染

◆ 一鍵調零功能

◆ 寬范圍電源

◆ 2個設點（選項）

◆ RS232接口（選項）

用途

要求高的應用條件下，精確而快速的壓強測量:

◆ 用于刻蝕，CVD, PVD, ALD半導體制造設備

◆ 資料貯存和顯示器制造設備

◆ 工業(yè)真空設備

◆ 常用高精度真空測量

訂貨資料

CDG025D，溫度補償型

全刻度范圍法蘭型式

Torr	Pascal	Mbar	1/2”tube	DN 16 ISO-KF	DN 16 CF-R	8 VCR
1000	133322	1333	375-000	375-001	375-002	375-003
100	13332	133	376-000	376-001	376-002	376-003
10	1333	13.3	377-000	377-001	377-002	377-003
1	13.3	0.13	378-000	378-001	378-002	378-003
0.1	13.3	0.13	379-000	379-001	379-002	379-003

CDG025D, 溫度補償型，帶2個設點和RS232接口

全刻度范圍法蘭型式

Torr	Pascal	Mbar	1/2”tube	DN 16 ISO-KF	DN 16 CF-R	8 VCR
1000	133322	1333	375-300	375-301	375-302	375-303
-	110000	1100	375-500	375-501	375-502	375-503
200	26664	267	382-300	382-301	-	-
100	13332	133	376-300	376-301	376-302	376-303
-	10000	100	376-500	376-501	376-502	376-503
20	2666	26.7	-	-	-	-
10	1333	13.3	377-300	377-301	377-302	377-303
-	1000	10	377-500	377-501	377-502	377-503
1	133	1.3	378-300	378-301	378-302	378-303
-	100	1	378-500	378-501	378-502	378-503
0.25	33.3	0.33	385-300	385-301	385-302	385-303
0.1	13.3	0.13	379-300	379-301	379-302	379-303
-	10	0.1	319-500	379-501	379-502	379-503