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閱讀：44發(fā)布時(shí)間：2024-8-19
石英振子微秤(QCM)由直徑為數(shù)微米的石英振動(dòng)盤(pán)和制作在盤(pán)兩邊的電極構(gòu)成。當(dāng)振蕩信號(hào)加在器件上時(shí)，器件會(huì)在它的特征頻率。~30MHz)發(fā)生共振。振動(dòng)盤(pán)上淀積了有機(jī)聚合物，聚合物吸附氣體后，使器件質(zhì)量增加，從而引起石英振子的共振頻率降低，通過(guò)測(cè)定共振頻率的變化來(lái)識(shí)別氣體。 高分子氣體傳感器，對(duì)特定氣體分子的靈敏度高、選擇性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可在常溫下使用，補(bǔ)充其他氣體傳感器的不足，發(fā)展前景良好。 在傳感器技術(shù)里，氣敏元件的制造工藝很多，但針對(duì)氣體傳感器的特性、材料，主要采用微電子機(jī)械技術(shù)(MEMT)。 微電子機(jī)械技術(shù)是以微電子技術(shù)和微加工技術(shù)為基礎(chǔ)的一種新技術(shù)，分為體微機(jī)械技術(shù)、表面微機(jī)械技術(shù)和X射線(xiàn)深層光刻電鑄成型(LIGA)技術(shù)。體微機(jī)械技術(shù)加工對(duì)象以體硅單晶為主，加工厚度幾十至數(shù)百微米，關(guān)鍵技術(shù)是腐蝕技術(shù)和鍵合技術(shù)，優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備和工藝簡(jiǎn)單，但可靠性差；表面微機(jī)械技術(shù)利用半導(dǎo)體工藝，如氧化、擴(kuò)散、光刻、薄膜沉積、犧牲層和剝離等專(zhuān)門(mén)技術(shù)進(jìn)行加工，厚度為幾微米，優(yōu)點(diǎn)是與IC工藝兼容性好，但縱向尺寸小，無(wú)法滿(mǎn)足高深寬比的要求，受高溫的影響較大；LIGA技術(shù)采用傳統(tǒng)的X射線(xiàn)包光，厚光刻膠作掩膜，電鑄成型工藝，加工厚度達(dá)到數(shù)微米至數(shù)十微米，可實(shí)現(xiàn)重復(fù)精度很高的大批量生產(chǎn)。 微電子機(jī)械技術(shù)是通過(guò)系統(tǒng)的微型化、集成化來(lái)探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。 近年來(lái)，由于在工業(yè)生產(chǎn)、家庭安全、環(huán)境監(jiān)測(cè)和醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)怏w傳感器的精度、性能、穩(wěn)定性方面的要求越來(lái)越高，因此對(duì)氣體傳感器的研究和開(kāi)發(fā)也越來(lái)越重要。隨著科學(xué)技術(shù)的應(yīng)用，氣體傳感器發(fā)展的趨勢(shì)是微型化、智能化和多功能化。深入研究和掌握有機(jī)、無(wú)機(jī)、生物和各種材料的特性及相互作用，理解各類(lèi)氣體傳感器的工作原理和作用機(jī)理，正確選擇各類(lèi)傳感器的敏感材料，靈活運(yùn)用微機(jī)械加工技術(shù)、敏感薄膜形成技術(shù)、微電子技術(shù)、光纖技術(shù)等，使傳感器性能化是氣體傳感器的發(fā)展方向。 |
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