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1.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺
特性
• θx, θy偏擺運動，zui大偏轉(zhuǎn)角度±1.1mrad/軸 • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔
• 分辨率高 • 外形超薄
2.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺
外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 閉環(huán)曲線 |
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閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負載曲線 | 應用實例-激光合束/軍事激光武器 | |
P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導向機構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到zui小，無空回、無摩擦。 采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)zui大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S.的重復定位精度。 臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、計量、定位等應用的選擇。 |
| P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應用 于軍事激光武器等領(lǐng)域。
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負載大鏡片 | 驅(qū)動方式 |
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P54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。 |
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校準調(diào)測 | 震動實驗 |
3.二維θxθy向壓電偏擺臺驅(qū)動方式
P54壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，通過控制電壓的大小，對不同的光路距離，可進行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。
應用
• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
