三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價格為小體積1~3維壓電運動平臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有非常高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，運動平臺采用無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，且壓電平臺體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

三維XYZ向壓電納米定位臺 6.8μm價格

特性

• 1~3維自由組合                   • 位移行程6.8μm                   • 亞毫秒響應(yīng)時間                   • 承載0.4kg                   •  重復(fù)定位精度可達納米級

小體積、高精度、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負載曲線
P63系列壓電納米定位臺非常重要的特點是精度高、體積小巧，P63.XYZ三維壓電運動平臺的尺寸僅為30×30×42mm（一維X軸運動壓電平臺尺寸為30×30×21mm），易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺是高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計的，慣性低，響應(yīng)時間可達0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率的高速掃描。