N11系列直線壓電馬達采用粘滑原理，將 PZT 壓電陶瓷的微運動轉(zhuǎn)換為毫米級長行程。它的體積非常小巧，僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達 3.6mm，非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應用。

產(chǎn)品特點

 行程可達 3.6mm

 一至三維可選

 體積小、重量輕

 速度可達 2mm/s

 斷電自鎖

產(chǎn)品應用

 超分辨成像樣品移動

 微納裝備及制造

 掃描電鏡（SEM）樣品操縱

 納米聚焦與掃描

 集成電路制造與檢測

 顯微及納米 CT

 大范圍電子束直寫（EBL）

 高真空樣品精度對準及調(diào)姿

N11系列直線壓電馬達