XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm

XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm

XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X軸200μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。

產(chǎn)品特點

 一維X向運動

 行程可達200μm

 承載可達5kg

 通孔尺寸：25×25mm

 閉環(huán)重復定位精度高

 開/閉環(huán)可選

 真空版本可選