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光刻機(jī)NX-B200/1000/2000/2500/2600納米壓印光刻機(jī)、簡(jiǎn)稱NIL　、NIL光刻機(jī)、軟紫外納米壓印，熱壓印, 紫外納米壓印步進(jìn)閃光壓印,

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光刻機(jī)NX-B200/1000/2000/2500/2600納米壓印光刻機(jī)、簡(jiǎn)稱NIL 、NIL光刻機(jī)、軟紫外納米壓印，熱壓印, 紫外納米壓印步進(jìn)閃光壓印, 軟模具的, 熱和紫外復(fù)合壓印工藝逆壓印, 激光輔助直接壓印, 連續(xù)壓印，滾壓印, 基底完整壓印光刻, 軟分子尺度壓印, 超聲納米壓印, 靜電輔助納米壓印, 流體介電泳和電毛細(xì)力驅(qū)動(dòng)納米壓印

光刻機(jī)NX-B200/1000/2000/2500/2600

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NX-A10

小型臺(tái)式基板納米壓印系統(tǒng)（熱壓印或紫外壓?。?/span>

zui大50毫米直徑壓印面積熱壓印

加熱速度>200℃/分鐘制冷速度>60℃/分鐘

NX-A20

小型臺(tái)式基板納米壓印系統(tǒng)（熱壓印和紫外壓印）

zui大50毫米直徑壓印面積熱壓印和紫外壓印

加熱速度>200℃/分鐘制冷速度>60℃/分鐘

58mW/cm2紫外LED光源；365納米或395納米波長(zhǎng)可選；全自動(dòng)化控制