產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成

紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測