LGR大氣環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)適用于工業(yè)園區(qū)、廠界環(huán)境、大氣環(huán)境中的有毒氣體和痕量氣體的監(jiān)測。

LGR特征污染因子分析儀用于監(jiān)測H2S，NH 3，HCl，HF，HCN等特征污染因子。并可實現(xiàn)ppb級別精度的測量。即使在復(fù)雜的過程流中，分析儀也能在很寬的摩爾分數(shù)范圍內(nèi)快速報告測量結(jié)果（干式和濕式）。

LGR分析儀利用LGR獲得第四代腔增強吸收技術(shù)—離軸積分腔輸出光譜技術(shù)（OA-ICOS）。較之傳統(tǒng)的腔衰蕩光譜（CRDS）技術(shù)，離軸ICOS具備諸多優(yōu)勢：對校準不敏感、測量時間大大縮短，以及不需要昂貴的復(fù)雜元件等。

特點及優(yōu)勢

?  高分辨率吸收光譜，并實時顯示光譜圖。

?  OA-ICOS的波長范圍寬，覆蓋從紫外到中紅外波段。

?  一個腔體可以提供多達2個激光器用于多組分分析。

?  反應(yīng)速度快，實現(xiàn)毫秒級或更短的相應(yīng)時間。

?  性能優(yōu)異，測量精度可達ppb級別；

?  通過互聯(lián)網(wǎng)可對儀器進行遠程控制

?  動態(tài)范圍更廣OA-ICOS直接測量吸收光譜，而非僅測量光腔衰蕩時間。相比傳統(tǒng)CRDS技術(shù)，OA-ICOS在明顯更廣的動態(tài)范圍內(nèi)呈現(xiàn)線性響應(yīng)（即針對某些氣體摩爾分數(shù)達99%）。

?  更簡單的維護，鏡片清理不需要專業(yè)的工具和實驗室，不需要校準光路，現(xiàn)場維護<20分鐘。

應(yīng)用范圍

? 探測泄漏以保護個人安全

? 監(jiān)控空氣中污染物

? 監(jiān)視前開式標(biāo)準晶圓盒(FOUP)和氣相沉積容器

? 監(jiān)管兼容的 HCI 排放和煙氣監(jiān)控

美國ABB/LGR