DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

裝置采用同軸二極濺射結(jié)構(gòu)，靶臺和靶距離可調(diào)節(jié)，濺射基片可進(jìn)行控溫加熱；

濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié)，可研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響

；反應(yīng)腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象；工作氣體可調(diào)節(jié)更換，

并可多路氣體混合工作?？梢酝瓿晒鈱W(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測量、金

屬薄膜的制備等實驗。

主要實驗內(nèi)容：

◆光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測量；

◆金屬薄膜的制備實驗；ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100，DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

◆理解直流濺射原理，掌握直流濺射薄膜材料的工藝方法。

主要技術(shù)特點(diǎn)：ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100，DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

◆濺射靶臺和濺射靶距離可調(diào)節(jié)，研究在不同距離時對薄膜濺射的影響；

◆濺射基片可進(jìn)行加熱，加熱溫度可控，研究基片溫度對薄膜濺射的影響；

◆濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié)，研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響

◆反應(yīng)腔體采用石英玻璃管，可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象；

◆供電電源：AC 220V，50 Hz。高斯計特斯拉計

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