長沙鈦合電子設(shè)備有限公司
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閱讀:1854發(fā)布時間:2016-07-08
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微型壓力傳感器是專門為流體力學實驗要求非常小的安裝尺寸而設(shè)計的,它利用硅–硅鍵合MEMS微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小,固有響應頻率高,彈性力學特性優(yōu)良,穩(wěn)定可靠,對流場影響小,精度高于壓電動態(tài)壓力傳感器,成為動壓測試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品,在爆轟動態(tài)、空氣動力學測量標準中都*本類壓力傳感器。可生產(chǎn)探針形、扁平薄餅形(1.5-4mm)。
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