潔凈檢測(cè)區(qū)的壓差控制原理-GTI115

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2025年04月22日

關(guān)鍵詞: GTI,吉泰精密,半導(dǎo)體,差壓表,電子設(shè)備

上傳者: 吉泰精密儀器（沈陽）有限公司

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資料簡(jiǎn)介

當(dāng)車間產(chǎn)品異物高發(fā)時(shí)，工程師按照人機(jī)料法環(huán)測(cè)幾個(gè)方面排查原因，當(dāng)排查到環(huán)境時(shí)，無塵車間的壓差是必須要排查的。

一、壓差控制原則：

1、潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差，通常情況潔凈度高的區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域，使?jié)崈羰业臐崈舳炔皇艿轿廴究諝獾母蓴_

2、不同級(jí)別的相鄰房間的壓差應(yīng)至少為10Pa。應(yīng)特別注意關(guān)鍵區(qū)域的保護(hù)。

EU GMP/FDA :不同級(jí)別采用的壓差值為10-15Pa，建議12.5Pa。
中國(guó)GMP2010版:要求潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間、不同級(jí)別潔凈區(qū)之間的壓差應(yīng)不低于10Pa。
3、潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，一般采用換氣次數(shù)法確定。

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潔凈檢測(cè)區(qū)的壓差控制原理-GTI115

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