基于激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)軸誤差快速檢定方法.pdf基于激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)軸誤差快速檢定方法.pdf,為了提升五軸數(shù)控機床各旋轉(zhuǎn)軸精度，解決旋轉(zhuǎn)軸幾何誤差難以測量的問題，提出了一種基于激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)軸幾何精度快速測量方法。

 

    該方法針對AC雙轉(zhuǎn)臺和BC擺頭轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)特性，采用旋轉(zhuǎn)軸與直線軸聯(lián)動的測量技術(shù)，可以避免傳統(tǒng)測量方法對旋轉(zhuǎn)軸中心的依賴性，推導了測量中直線軸轉(zhuǎn)角誤差與直線度對旋轉(zhuǎn)軸幾何誤差約束關(guān)系，在保證精度的同時減少了測量過程中的設備安裝調(diào)試時間，實現(xiàn)了五軸機床旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)角誤差、重復轉(zhuǎn)角誤差以及反向間隙的快速測量和補償。

 

    對實際五軸機床AC雙轉(zhuǎn)臺幾何精度進行檢定，提高了旋轉(zhuǎn)軸的幾何精度，實驗證明該測量方法具有很強的工程應用價值。;

 

    “干涉法”是一種利用波（通常是光波、無線電波或聲波）干涉現(xiàn)象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。此外，干涉法被用來描述使用光波研究位移變化的技術(shù)。這種位移測量干涉法廣泛應用于精密加工中的標定和機械級運動控制。

 

    通過使用兩個光束（通常是將一個光束分成兩個），當這兩個光束重疊時，可以形成干涉圖樣。由于可見光的波長很短，因此可以檢測到兩束光之間的光路（行駛距離）的微小變化（因為這些差異將導致干涉圖樣的顯著變化）。因此，一百多年來，光學干涉測量一直是一種有價值的測量技術(shù)。

 

    后來隨著激光的發(fā)明，激光干涉儀的精確度得到了提高。第一次演示使用光干涉原理作為測量工具是由阿爾伯特a.邁克爾遜在1880年通過發(fā)展第一個干涉儀實現(xiàn)的。盡管這項技術(shù)（和測量精度）已經(jīng)發(fā)展了多年，但邁克爾遜干涉儀的基本原理仍然是干涉測量學的核心。