HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計. 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計, 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動部件, 大限度減少粒子的生成. 免維護設(shè)計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應(yīng)用.
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設(shè)計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥大烘烤溫度 250°C
全部美國設(shè)計, 制造, 組裝, *
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):
閥門材質(zhì): | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關(guān)閉 | 2 bar (任意位置) |
- 開啟前大壓力 | ≤ 1 bar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置大 250 °c |
- 驅(qū)動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,大 | 115 VAC |
使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 50 - 200 mm | |
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
